Semicera стНепалярная алюмініевая падкладка ў М-плоскасці 10x10 ммскрупулёзна распрацаваны, каб адпавядаць высокім патрабаванням сучасных оптаэлектронных прыкладанняў. Гэтая падкладка мае непалярную арыентацыю ў М-плоскасці, што вельмі важна для памяншэння эфектаў палярызацыі ў такіх прыладах, як святлодыёды і лазерныя дыёды, што прыводзіць да павышэння прадукцыйнасці і эфектыўнасці.
TheНепалярная алюмініевая падкладка ў М-плоскасці 10x10 ммвырабляецца з выключнай крышталічнай якасцю, забяспечваючы мінімальную шчыльнасць дэфектаў і найвышэйшую структурную цэласнасць. Гэта робіць яго ідэальным выбарам для эпітаксійнага росту высакаякасных плёнак нітрыдаў III, якія неабходныя для распрацоўкі оптаэлектронных прылад наступнага пакалення.
Дакладная тэхніка Semicera гарантуе, што кожныНепалярная алюмініевая падкладка ў М-плоскасці 10x10 ммпрапануе пастаянную таўшчыню і роўнасць паверхні, якія маюць вырашальнае значэнне для раўнамернага нанясення плёнкі і вырабу прылад. Акрамя таго, кампактны памер падкладкі робіць яе прыдатнай як для даследчых, так і для вытворчых умоў, дазваляючы гнуткае выкарыстанне ў розных сферах прымянення. Дзякуючы выдатнай тэрмічнай і хімічнай устойлівасці, гэтая падкладка забяспечвае надзейную аснову для распрацоўкі перадавых оптаэлектронных тэхналогій.
| Прадметы | Вытворчасць | Даследаванні | манекен |
| Параметры крышталя | |||
| Палітып | 4H | ||
| Памылка арыентацыі паверхні | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрычныя параметры | |||
| Дапаможнік | Азот п-тыпу | ||
| Удзельнае супраціўленне | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механічныя параметры | |||
| Дыяметр | 150,0±0,2 мм | ||
| Таўшчыня | 350±25 мкм | ||
| Першасная плоская арыентацыя | [1-100]±5° | ||
| Першасная плоская даўжыня | 47,5±1,5 мм | ||
| Другасная кватэра | Няма | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤5 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤10 мкм (5 мм * 5 мм) |
| Лук | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
| Дэфармацыя | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Пярэдняя (Si-грань) шурпатасць (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Структура | |||
| Шчыльнасць мікратрубы | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металічныя прымешкі | ≤5E10атамаў/см2 | NA | |
| БЛД | ≤1500 еа/см2 | ≤3000 еа/см2 | NA |
| ТСД | ≤500 эа/см2 | ≤1000 еа/см2 | NA |
| Пярэдняя якасць | |||
| Фронт | Si | ||
| Аздабленне паверхні | Si-face CMP | ||
| Часціцы | ≤60 шт./вафлю (памер ≥0,3 мкм) | NA | |
| Драпіны | ≤5ea/мм. Сукупная даўжыня ≤дыяметра | Сукупная даўжыня≤2*Дыяметр | NA |
| Апельсінавая скарынка/ямкі/плямы/палосы/ расколіны/забруджвання | Няма | NA | |
| Сколы/водступы/пераломы/шасцігранныя пласціны | Няма | ||
| Политипные вобласці | Няма | Сукупная плошча≤20% | Сукупная плошча≤30% |
| Пярэдняя лазерная разметка | Няма | ||
| Назад Якасць | |||
| Задняя аздабленне | С-гранная CMP | ||
| Драпіны | ≤5ea/мм, Сукупная даўжыня≤2*Дыяметр | NA | |
| Дэфекты спіны (сколы/водступы па краях) | Няма | ||
| Шурпатасць спіны | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Лазерная разметка спіны | 1 мм (ад верхняга краю) | ||
| край | |||
| край | Фаска | ||
| Ўпакоўка | |||
| Ўпакоўка | Epi-ready з вакуумнай упакоўкай Мультывафельная касетная ўпакоўка | ||
| *Заўвагі: "NA" азначае адсутнасць запыту. Элементы, якія не згадваюцца, могуць адносіцца да SEMI-STD. | |||
