Часткі працэсу тручэння

Носьбіт апрацоўкі PSS для перадачы паўправадніковых пласцін
Карыстальніцкі латок для паўправаднікоў ICP (тручэнне)
Святлодыёдныя паддоны з карбіду крэмнія для падшыпнікаў, ICP-паддоны (Etch)
Устойлівы да высокіх тэмператур і карозіі святлодыёдны паддон для тручэння з карбіду крэмнію (паддон для тручэння ICP)
Носьбіт SiC для тэрмічнай апрацоўкі хуткага нагрэву RTP/RTA
Латкі для штыфтоў з SiC для працэсаў тручэння ICP у індустрыі святлодыёдаў
Апорная пласціна RTA з карбіду крэмнію для паўправаднікоў
Носьбіты SiC-пакрыццяў для тручэння паўправаднікоў