Сіне-зялёная святлодыёдная эпітаксія ад semicera прапануе перадавыя рашэнні для вытворчасці высокапрадукцыйных святлодыёдаў. Тэхналогія эпітаксіі сіняга/зялёнага святлодыёда semicera, распрацаваная для падтрымкі перадавых працэсаў эпітаксіяльнага росту, павышае эфектыўнасць і дакладнасць вытворчасці сініх і зялёных святлодыёдаў, што важна для розных оптаэлектронных прылажэнняў. Гэта рашэнне з выкарыстаннем самых сучасных SiC і SiC эпітаксіі забяспечвае выдатную якасць і даўгавечнасць.
У вытворчым працэсе MOCVD Susceptor адыгрывае вырашальную ролю разам з такімі кампанентамі, як PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier і RTP Carrier, якія аптымізуюць асяроддзе эпітаксіяльнага росту. Сіне-зялёная святлодыёдная эпітаксія Semicera прызначана для забеспячэння стабільнай падтрымкі святлодыёдных эпітаксіяльных токапрымачоў, бочкападобных токапрымачоў і монакрышталічнага крэмнію, забяспечваючы стабільныя высакаякасныя вынікі.
Гэты працэс эпітаксіі мае жыццёва важнае значэнне для стварэння фотаэлектрычных частак і падтрымлівае такія прымянення, як эпітаксія GaN на SiC, паляпшаючы агульную эфектыўнасць паўправаднікоў. Незалежна ад таго, у канфігурацыі Pancake Susceptor або выкарыстоўваюцца ў іншых прасунутых наладах, сінія/зялёныя святлодыёдныя эпітаксічныя рашэнні Semicera забяспечваюць надзейную працу, дапамагаючы вытворцам задавальняць расце попыт на высакаякасныя святлодыёдныя кампаненты.
Асноўныя характарыстыкі:
1. Устойлівасць да акіслення пры высокіх тэмпературах:
устойлівасць да акіслення па-ранейшаму вельмі добрая, калі тэмпература дасягае 1600 C.
2. Высокая чысціня: вырабляецца шляхам хімічнага асаджэння з паравай фазы ва ўмовах высокатэмпературнага хларавання.
3. Устойлівасць да эрозіі: высокая цвёрдасць, кампактная паверхня, дробныя часціцы.
4. Каразійная ўстойлівасць: кіслоты, шчолачы, солі і арганічныя рэагенты.
Асноўныя тэхнічныя характарыстыкіПакрыццё CVD-SIC
| Уласцівасці SiC-CVD | ||
| Крышталічная структура | FCC β фаза | |
| Шчыльнасць | г/см³ | 3.21 |
| Цвёрдасць | Цвёрдасць па Віккерсу | 2500 |
| Памер збожжа | мкм | 2~10 |
| Хімічная чысціня | % | 99,99995 |
| Цеплаёмістасць | Дж·кг-1 ·К-1 | 640 |
| Тэмпература сублімацыі | ℃ | 2700 |
| Felexural Сіла | МПа (RT 4-кропка) | 415 |
| Модуль Юнга | Gpa (выгіб 4 пункты, 1300 ℃) | 430 |
| Цеплавое пашырэнне (CTE) | 10-6К-1 | 4.5 |
| Цеплаправоднасць | (Вт/мК) | 300 |
