RTPКольцы CVD SiCшырока выкарыстоўваюцца ў прамысловых і навуковых галінах пры высокіх тэмпературах і агрэсіўных асяроддзях. Ён гуляе важную ролю ў вытворчасці паўправаднікоў, оптаэлектроніцы, дакладных машынах і хімічнай прамысловасці. Канкрэтныя прыкладанні ўключаюць:
1. Вытворчасць паўправаднікоў:Кольцы RTP CVD SiCможа выкарыстоўвацца для нагрэву і астуджэння паўправадніковага абсталявання, забяспечваючы стабільны кантроль тэмпературы і забяспечваючы дакладнасць і паслядоўнасць працэсу.
2. Оптаэлектроніка: дзякуючы сваёй выдатнай цеплаправоднасці і ўстойлівасці да высокіх тэмператур, RTPКольцы CVD SiCмогуць выкарыстоўвацца ў якасці матэрыялаў для падтрымкі і рассейвання цяпла для лазераў, валаконна-аптычнага абсталявання сувязі і аптычных кампанентаў.
3. Дакладныя машыны: кольцы RTP CVD SiC можна выкарыстоўваць для прэцызійных прыбораў і абсталявання ў высокатэмпературных і каразійных асяроддзях, такіх як высокатэмпературныя печы, вакуумныя прылады і хімічныя рэактары.
4. Хімічная прамысловасць: дзякуючы сваёй каразійнай устойлівасці і хімічнай стабільнасці кольцы RTP CVD SiC можна выкарыстоўваць у кантэйнерах, трубах і рэактарах у хімічных рэакцыях і каталітычных працэсах.
Сістэма Epi
Сістэма RTP
CVD сістэма
Прадукцыйнасць прадукту:
1. Знаёмцеся з працэсам ніжэй за 28 нм
2. Супер ўстойлівасць да карозіі
3. Супер чыстая прадукцыйнасць
4. Супер цвёрдасць
5. Высокая шчыльнасць
6. Устойлівасць да высокіх тэмператур
7. Зносаўстойлівасць
Ужыванне прадукту:
Матэрыялы з карбіду крэмнія валодаюць характарыстыкамі высокай цвёрдасці, зносаўстойлівасці, устойлівасці да карозіі і высокай тэмпературнай стабільнасці. Прадукты з выдатнымі комплекснымі характарыстыкамі шырока выкарыстоўваюцца ў працэсах сухога тручэння і TF/дыфузіі.
Прадукцыйнасць прадукту:
1. Знаёмцеся з працэсам ніжэй за 28 нм
2. Супер ўстойлівасць да карозіі
3. Супер чыстая прадукцыйнасць
4. Супер цвёрдасць
5. Высокая шчыльнасць
6. Устойлівасць да высокіх тэмператур
7. Зносаўстойлівасць
Распрацоўка кампазітнага працэсу:
Графіт +Sic пакрыццё
Цвёрды CvD так
Спеченный SiC+CVD
SicSintered SiC
Распрацоўка некалькіх тыпаў прадуктаў:
Кольца
стол
Суцэптар
Насадка для душа