Semicera забяспечвае спецыялізаваныя пакрыцця з карбіду тантала (TaC) для розных кампанентаў і носьбітаў.Вядучы працэс нанясення пакрыцця Semicera дазваляе пакрыццям з карбіду тантала (TaC) дасягнуць высокай чысціні, стабільнасці пры высокай тэмпературы і высокай хімічнай устойлівасці, паляпшаючы якасць крышталяў SIC/GAN і слаёў EPI (Тас-суцэптар з графітавым пакрыццём), а таксама падаўжэнне тэрміну службы ключавых кампанентаў рэактара. Выкарыстанне пакрыцця з карбіду тантала TaC павінна вырашыць праблему краёў і палепшыць якасць росту крышталяў, а Semicera здзейсніла прарыў у вырашэнні тэхналогіі пакрыцця з карбіду тантала (CVD), дасягнуўшы міжнароднага прасунутага ўзроўню.
Індывідуальныя кольцы з пакрыццём з карбіду тантала - гэта вырабы з кольцаў, якія індывідуальна распрацаваны і выраблены ў адпаведнасці з тэхналогіяй нанясення пакрыцця з карбіду тантала ў залежнасці ад канкрэтных патрэбаў і патрабаванняў кліентаў.
Ніжэй прыводзіцца агульнае апісанне індывідуальных кольцаў з пакрыццём з карбіду тантала:
1. Выбар матэрыялу: у адпаведнасці з патрэбамі заказчыка ў якасці падкладкі выбіраюцца танталавыя матэрыялы высокай чысціні для забеспячэння якасці і прадукцыйнасці прадукту.
2. Памер і форма: у адпаведнасці з патрабаваннямі або праектнымі чарцяжамі, прадстаўленымі заказчыкам, памер, дыяметр, таўшчыня і форма кольца з пакрыццём з карбіду тантала наладжваюцца ў адпаведнасці з канкрэтнымі сцэнарыямі прымянення і патрабаваннямі да абсталявання.
3. Працэс нанясення пакрыцця з карбіду тантала: паверхня кольца з тантала апрацоўваецца з дапамогай прафесійнага працэсу нанясення пакрыцця з карбіду тантала для адукацыі аднастайнага, шчыльнага і добра клейкага пакрыцця з карбіду тантала.
4. Зносаўстойлівасць і ўстойлівасць да карозіі: аптымізуючы працэс і параметры пакрыцця, пераканайцеся, што кольца з пакрыццём з карбіду тантала мае выдатную зносаўстойлівасць і ўстойлівасць да карозіі ў адпаведнасці з патрабаваннямі канкрэтных асяроддзяў.
5. Прадукцыйнасць ушчыльнення: у адпаведнасці з патрабаваннямі заказчыка да ўшчыльнення, ушчыльняльная структура кольцы з пакрыццём з карбіду тантала распрацавана і выраблена для забеспячэння эфектыўнай прадукцыйнасці ўшчыльнення і прадухілення ўцечкі газу або вадкасці.
6. Кантроль якасці: у працэсе наладкі праводзіцца строгі кантроль якасці і тэставанне, каб гарантаваць паслядоўнасць, надзейнасць і адпаведнасць прадукцыі.
з TaC і без
Пасля выкарыстання TaC (справа)
Больш за тое, Semicera стПрадукты з пакрыццём TaCпраяўляюць больш працяглы тэрмін службы і вялікую ўстойлівасць да высокіх тэмператур у параўнанні зSiC пакрыцця.Лабараторныя вымярэнні паказалі, што нашTaC пакрыццяможа паслядоўна працаваць пры тэмпературах да 2300 градусаў Цэльсія на працягу працяглых перыядаў. Ніжэй прыведзены некаторыя прыклады нашых узораў:
