Высокая чысціня SiC Carrier/Susceptor

Кароткае апісанне:

Апорны дыск з карбіду крэмнія таксама вядомы як латок SIC, дыск для тручэння з карбіду крэмнія, дыск для тручэння з карбіду крэмнія. Латок з карбіду крэмнію для тручэння святлодыёдамі (латок з карбіду крэмнію) φ600 мм - гэта спецыяльны аксэсуар для глыбокага тручэння крэмнія (машына для тручэння ICP).


Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

Апісанне

Кераміка з карбіду крэмнію мае выдатныя механічныя ўласцівасці пры пакаёвай тэмпературы, такія як высокая трываласць, высокая цвёрдасць, высокі модуль пругкасці і г.д., яна таксама валодае выдатнай стабільнасцю пры высокіх тэмпературах, такой як высокая цеплаправоднасць, нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння і добрая ўдзельная калянасць і аптычная прадукцыйнасць апрацоўкі.
Яны асабліва падыходзяць для вытворчасці прэцызійных керамічных дэталяў для абсталявання з інтэгральнымі схемамі, такіх як літаграфічныя машыны, якія ў асноўным выкарыстоўваюцца для вырабу карэкціровачнага карбіда карбіта (SiC) носьбіта/сусцептора, SiC-вафельнай лодкі, адсоснага дыска, пласціны з вадзяным астуджэннем, дакладнага вымяральнага адбівальніка, рашоткі і іншых керамічных канструктыўных частак.

перавозчык2

перавозчык3

перавозчык4

Перавагі

Устойлівасць да высокіх тэмператур: нармальнае выкарыстанне пры тэмпературы 1800 ℃
Высокая цеплаправоднасць: эквівалентна графітавага матэрыялу
Высокая цвёрдасць: цвёрдасць саступае толькі алмазу, нітрыду бору
Устойлівасць да карозіі: моцная кіслата і шчолач не падвяргаюцца карозіі, устойлівасць да карозіі лепш, чым у карбіду вальфраму і гліназёму
Лёгкі вага: нізкая шчыльнасць, блізкая да алюмінію
Няма дэфармацыі: нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння
Устойлівасць да цеплавога ўдару: ён можа вытрымліваць рэзкія перапады тэмпературы, супрацьстаяць цеплавому ўдару і мае стабільную працу
Носьбіт з карбіду крэмнію, напрыклад, носьбіт для тручэння SIC, прыймальнік для тручэння ICP, шырока выкарыстоўваецца ў CVD паўправаднікоў, вакуумным напыленнем і г. д. Мы можам прадастаўляць кліентам індывідуальныя носьбіты для пласцін з крэмнію і матэрыялаў з карбіду крэмнію для розных прымянення.

Перавагі

Уласнасць Каштоўнасць Метад
Шчыльнасць 3,21 г/куб.куб Ракавіна-паплавок і габарыт
Удзельная цеплаёмістасць 0,66 Дж/г °К Імпульсная лазерная ўспышка
Трываласць на выгіб 450 МПа 560 МПа 4-кропкавы згін, кропкавы згін RT4, 1300°
Глейкасць разбурэння 2,94 МПа м1/2 Микровдавливание
Цвёрдасць 2800 Vicker's, загрузка 500 г
Модуль пругкасці Модуль Юнга 450 ГПа 430 ГПа 4 пункты выгібу, RT4 пт выгібу, 1300 °C
Зярністасць 2 - 10 мкм SEM

Профіль кампаніі

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. з'яўляецца вядучым пастаўшчыком удасканаленай паўправадніковай керамікі і адзіным вытворцам у Кітаі, які можа адначасова пастаўляць кераміку з карбіду крэмнію высокай чысціні (асабліва рэкрышталізаваны SiC) і пакрыццё з CVD SiC. Акрамя таго, наша кампанія таксама займаецца керамічнымі галінамі, такімі як гліназём, нітрыд алюмінію, дыяксід цырконія і нітрыд крэмнія і г.д.

Наша асноўная прадукцыя, у тым ліку: дыск для тручэння з карбіду крэмнію, буксір для лодак з карбіду крэмнію, лодка з карбіду крэмнію (фотаэлектрычныя і паўправадніковыя), печная труба з карбіду крэмнію, кансольная лапатка з карбіду крэмнію, патроны з карбіду крэмнію, бэлька з карбіду крэмнію, а таксама CVD пакрыццё SiC і TaC пакрыццё. Прадукцыя ў асноўным выкарыстоўваецца ў паўправадніковай і фотаэлектрычнай прамысловасці, напрыклад, абсталяванне для вырошчвання крышталяў, эпітаксіі, тручэння, упакоўкі, нанясення пакрыццяў і дыфузійных печаў і г.д.
каля (2)

Транспарт

каля (2)


  • Папярэдняя:
  • далей: