Цвёрдыя дэталі з карбіду крэмнія CVD прызнаны асноўным выбарам для кольцаў і асноў RTP/EPI, а таксама дэталяў паражніны для плазменнага траўля, якія працуюць пры высокіх неабходных сістэме працоўных тэмпературах (>1500 ℃), патрабаванні да чысціні асабліва высокія (>99,9995%) і прадукцыйнасць асабліва добрая, калі ўстойлівасць да хімічных рэчываў асабліва высокая. Гэтыя матэрыялы не ўтрымліваюць другасных фаз на краі зерня, таму іх кампаненты вырабляюць менш часціц, чым іншыя матэрыялы. Акрамя таго, гэтыя кампаненты можна ачысціць з дапамогай гарачага HF/HCl з невялікай дэградацыяй, што прыводзіць да меншай колькасці часціц і больш працяглага тэрміну службы.
