Ізастатычны PECVD Графітавая лодка

Ізастатычная PECVD графітная лодка, прадстаўленая выява

Кароткае апісанне:

Графітавая лодка з ізастатычным PECVD шырока выкарыстоўваецца ў розных звёнах вытворчасці паўправаднікоў, такіх як нанясенне полісіліконавай плёнкі, аксіднай плёнкі, нітрыднай плёнкі і г. д. Яго выдатныя характарыстыкі робяць яго ідэальным носьбітам пласцін у працэсе PECVD.

Дашліце нам ліст

Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

Ізастатычны графітавы катэр SEMICERA PECVD - гэта графітавы прадукт высокай чысціні і высокай шчыльнасці, прызначаны для падтрымкі пласцін у працэсе PECVD (плазменнае хімічнае асаджэнне з пара). SEMICERA выкарыстоўвае перадавую тэхналогію ізастатычнага прэсавання, каб гарантаваць, што графітавыя лодкі маюць выдатную ўстойлівасць да высокіх тэмператур, устойлівасць да карозіі, стабільнасць памераў і добрую цеплаправоднасць, што з'яўляецца незаменным расходным матэрыялам у працэсе вытворчасці паўправаднікоў.

Графітавая ізастатычная лодка SEMICERA PECVD мае наступныя перавагі:

▪ Высокая чысціня: графітавы матэрыял адрозніваецца высокай чысцінёй і нізкім утрыманнем прымешак, каб пазбегнуць забруджвання паверхні пласцін.

▪ Высокая шчыльнасць: высокая шчыльнасць, высокая механічная трываласць, можа вытрымліваць высокую тэмпературу і высокі вакуум.

▪ Добрая стабільнасць памераў: невялікія змены памераў пры высокай тэмпературы для забеспячэння стабільнасці працэсу.

▪ Выдатная цеплаправоднасць: эфектыўная перадача цяпла, каб прадухіліць перагрэў пласцін.

▪ Моцная ўстойлівасць да карозіі: Здольны супрацьстаяць эрозіі рознымі агрэсіўнымі газамі і плазмай.

Параметр прадукцыйнасці	полуцветковые	SGL R6510	Параметр прадукцыйнасці
Аб'ёмная шчыльнасць (г/см3)	1,91	1,83	1,85
Трываласць на выгіб (МПа)	63	60	49
Трываласць на сціск (МПа)	135	130	103
Цвёрдасць па Шору (HS)	70	64	60
Каэфіцыент цеплавога пашырэння（10-6/K）	85	105	130
Каэфіцыент цеплавога пашырэння（10-6/K）	5,85	4.2	5.0
Удзельнае супраціўленне (мкОм)	11-13	13	10

Перавагі выбару нас:
▪ Выбар матэрыялу: для забеспячэння якасці прадукцыі выкарыстоўваюцца графітавыя матэрыялы высокай чысціні.
▪ Тэхналогія апрацоўкі: для забеспячэння шчыльнасці і аднастайнасці прадукту выкарыстоўваецца ізастатычнае прэсаванне.
▪ Настройка памеру: Графітавыя лодкі розных памераў і форм могуць быць настроены ў адпаведнасці з патрэбамі кліента.
▪ Апрацоўка паверхні: прадугледжаны розныя метады апрацоўкі паверхні, такія як пакрыццё карбідам крэмнію, нітрыдам бору і г.д., каб задаволіць розныя патрабаванні працэсу.