Паўправаднікі:
Паўправадніковая прамысловасць прытрымліваецца індустрыяльнага закону «адно пакаленне тэхналогіі, адно пакаленне працэсу і адно пакаленне абсталявання», а мадэрнізацыя і ітэрацыя паўправадніковага абсталявання ў значнай ступені залежыць ад тэхналагічнага прарыву дакладных дэталяў. Сярод іх прэцызійныя керамічныя дэталі з'яўляюцца найбольш рэпрэзентатыўнымі матэрыяламі для прэцызійных паўправадніковых дэталяў, якія маюць важнае прымяненне ў шэрагу асноўных звёнаў вытворчасці паўправаднікоў, такіх як хімічнае асаджэнне з паравай фазы, фізічнае асаджэнне з паравай фазы, іонная імплантацыя і тручэнне. Такія, як падшыпнікі, накіроўвалыя рэйкі, накладкі, электрастатычныя патроны, механічныя мантажныя рычагі і г. д. Асабліва ўнутры паражніны абсталявання, ён выконвае ролю падтрымкі, абароны і адводу.
З 2023 года Нідэрланды і Японія таксама паслядоўна выдавалі новыя правілы або ўказы аб кантролі за знешнім гандлем, дадаючы правілы экспартных ліцэнзій для паўправадніковага абсталявання, уключаючы літаграфічныя машыны, і паступова з'явілася тэндэнцыя антыглабалізацыі паўправаднікоў. Важнасць незалежнага кантролю за ланцужком паставак становіцца ўсё больш прыкметнай. Сутыкнуўшыся з попытам на лакалізацыю частак паўправадніковага абсталявання, айчынныя кампаніі актыўна прасоўваюць прамысловае развіццё. Zhongci Electronics рэалізавала лакалізацыю высокатэхналагічных дакладных дэталяў, такіх як награвальныя пласціны і электрастатычныя патроны, вырашаючы праблему «вузкага месца» айчыннай прамысловасці паўправадніковага абсталявання; Кампанія Dezhi New Materials, вядучы айчынны пастаўшчык графітавых асноў з SiC-пакрыццём і кольцаў для тручэння з SiC, паспяхова завяршыла фінансаванне ў памеры 100 мільёнаў юаняў і г.д.
Керамічныя падкладкі з нітрыду крэмнію з высокай праводнасцю:
Керамічныя падкладкі з нітрыду крэмнію ў асноўным выкарыстоўваюцца ў сілавых блоках, паўправадніковых прыборах і інвертарах чыста электрычных транспартных сродкаў (EV) і гібрыдных электрамабіляў (HEV) і маюць велізарны рынкавы патэнцыял і перспектывы прымянення.
У цяперашні час керамічныя падкладкі з высокай цеплаправоднасцю з нітрыду крэмнія для камерцыйнага прымянення патрабуюць цеплаправоднасці ≥85 Вт/(м·К), трываласці на выгіб ≥650 МПа і трываласці на разрыў 5~7 МПа·м1/2. Кампаніі, якія сапраўды маюць магчымасць масава вырабляць керамічныя падкладкі з нітрыду крэмнію з высокай цеплаправоднасцю, у асноўным гэта Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa і Japan Fine Ceramics.
Айчынныя даследаванні матэрыялаў для керамічных падкладак з нітрыду крэмнію таксама дасягнулі пэўнага прагрэсу. Каэфіцыент цеплаправоднасці керамічнай падкладкі з нітрыду крэмнію, падрыхтаванай у працэсе стужкавага ліцця Пекінскага аддзялення кампаніі Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd., складае 100 Вт/(м·К); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. паспяхова падрыхтавала керамічную падкладку з нітрыду крэмнію з трываласцю на выгіб 700-800 МПа, трываласцю на разрыў ≥8 МПа·м1/2 і цеплаправоднасцю ≥80 Вт/(м·К) шляхам аптымізацыі метаду і працэсу спякання.
Час публікацыі: 29 кастрычніка 2024 г