Пярэдні канец вытворчай лініі падобны на закладку падмурка і ўзвядзенне сцен дома. У вытворчасці паўправаднікоў гэты этап уключае стварэнне асноўных структур і транзістараў на крамянёвай пласціне.
Асноўныя этапы FEOL:
1. Ачыстка:Пачніце з тонкай крамянёвай пласціны і ачысціце яе ад любых забруджванняў.
2. Акісленне:Вырошчвайце пласт дыяксіду крэмнію на пласціне, каб ізаляваць розныя часткі чыпа.
3. Фоталітаграфія:Выкарыстоўвайце фоталітаграфію, каб выгравіраваць узор на пласціне, падобна маляванню чарцяжоў святлом.
4. Афорт:Вытравіце непажаданы дыяксід крэмнія, каб выявіць патрэбныя ўзоры.
5. Допінг:Увядзіце прымешкі ў крэмній, каб змяніць яго электрычныя ўласцівасці, ствараючы транзістары, асноўныя будаўнічыя блокі любога чыпа.
Сярэдні канец лініі (MEOL): злучэнне кропак
Сярэдні канец вытворчай лініі падобны на ўстаноўку электраправодкі і сантэхнікі ў доме. Гэты этап сканцэнтраваны на ўсталяванні злучэнняў паміж транзістарамі, створанымі на этапе FEOL.
Асноўныя этапы MEOL:
1. Дыэлектрычнае нанясенне:Нанясіце ізаляцыйныя пласты (так званыя дыэлектрыкі) для абароны транзістараў.
2. Фарміраванне кантактаў:Сфармуйце кантакты, каб злучыць транзістары адзін з адным і знешнім светам.
3. Узаемасувязь:Дадайце металічныя пласты, каб стварыць шляхі для электрычных сігналаў, падобныя на праводку ў доме, каб забяспечыць бесперабойную перадачу электраэнергіі і даных.
Задні канец радка (BEOL): Апошнія штрыхі
-
Задняя частка вытворчай лініі падобная на тое, каб дадаць апошнія штрыхі да дома — усталяваць свяцільні, пафарбаваць і пераканацца, што ўсё працуе. У вытворчасці паўправаднікоў гэты этап уключае ў сябе даданне апошніх слаёў і падрыхтоўку чыпа да ўпакоўкі.
Ключавыя крокі BEOL:
1. Дадатковыя пласты металу:Дадайце некалькі металічных слаёў для паляпшэння ўзаемасувязі, гарантуючы, што чып можа спраўляцца са складанымі задачамі і высокай хуткасцю.
2. Пасівацыя:Нанясіце ахоўныя пласты, каб абараніць мікрасхему ад уздзеяння навакольнага асяроддзя.
3. Тэставанне:Праверце чып дбайным выпрабаванням, каб пераканацца, што ён адпавядае ўсім спецыфікацыям.
4. Нарэзка кубікамі:Разрэжце пласціну на асобныя чыпсы, кожны гатовы для ўпакоўкі і выкарыстання ў электронных прыладах.
Час публікацыі: 8 ліпеня 2024 г