Усе тонкія плёнкі, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправаднікоў, маюць супраціў, і супраціў плёнкі непасрэдна ўплывае на прадукцыйнасць прылады. Звычайна мы не вымяраем абсалютнае супраціўленне плёнкі, а выкарыстоўваем супраціўленне ліста для яго характарыстыкі.
Што такое ліставое супраціўленне і аб'ёмнае супраціўленне?
Удзельнае аб'ёмнае супраціўленне, таксама вядомае як удзельнае аб'ёмнае супраціўленне, - гэта неад'емная ўласцівасць матэрыялу, якая характарызуе, наколькі матэрыял перашкаджае праходжанню электрычнага току. Звычайна выкарыстоўваны сімвал ρ уяўляе сабой адзінку Ω.
Лістовае супраціўленне, таксама вядомае як ліставое супраціўленне, ангельская назва sheet супраціў, якое адносіцца да значэння супраціву плёнкі на адзінку плошчы. Звычайна выкарыстоўваюцца сімвалы Rs або ρs для выражэння, адзінка Ω/кв або Ω/□
Адносіны паміж імі: супраціўленне ліста = удзельнае аб'ёмнае супраціўленне/таўшчыня плёнкі, гэта значыць Rs =ρ/t
Навошта вымяраць супраціў ліста?
Вымярэнне абсалютнага супраціву плёнкі патрабуе дакладных ведаў аб геаметрычных памерах плёнкі (даўжыня, шырыня, таўшчыня), якія маюць шмат зменных і вельмі складаныя для вельмі тонкіх або няправільнай формы плёнак. Супраціў ліста залежыць толькі ад таўшчыні плёнкі і можа быць хутка і непасрэдна правераны без складаных разлікаў памераў.
Для якіх плёнак трэба вымяраць супраціў ліста?
Як правіла, токаправодныя плёнкі і паўправадніковыя плёнкі павінны вымярацца на квадратнае супраціўленне, у той час як ізаляцыйныя плёнкі вымяраць не трэба.
У легіраванні паўправаднікоў таксама вымяраецца супраціў ліста крэмнію.
Як вымераць супраціў квадрата?
Метад чатырох зондаў звычайна выкарыстоўваецца ў прамысловасці. Метад з чатырма зондамі можа вымяраць квадратнае супраціўленне ў дыяпазоне ад 1E-3 да 1E+9Ω/кв. Метад чатырох зондаў дазваляе пазбегнуць памылак вымярэнняў з-за кантактнага супраціву паміж зондам і ўзорам.
Метады вымярэння:
1) Усталюйце чатыры лінейна размешчаныя зонды на паверхні ўзору.
2) Падаць пастаянны ток паміж двума вонкавымі зондамі.
3) Вызначце супраціўленне, вымераючы рознасць патэнцыялаў паміж двума ўнутранымі зондамі
RS : супраціў ліста
ΔV: змяненне напружання, вымеранае паміж унутранымі датчыкамі
I : Ток, які падаецца паміж знешнімі зондамі
Час публікацыі: 29 сакавіка 2024 г