TheMOCVDМетад з'яўляецца адным з найбольш стабільных працэсаў, якія ў цяперашні час выкарыстоўваюцца ў прамысловасці для вырошчвання высакаякасных монакрышталічных тонкіх плёнак, такіх як аднафазныя эпіпласты InGaN, матэрыялы III-N і паўправадніковыя плёнкі са структурамі з некалькімі квантавымі ямай, і мае вялікае значэнне ў вытворчасць паўправадніковых і оптаэлектронных прыбораў.
TheПрыёмнік MOCVD з пакрыццём SiC- гэта спецыялізаваны трымальнік для пласцін, пакрыты карбідам крэмнію (SiC).эпітаксіяльны рост у працэсе металаарганічнага хімічнага асаджэння з паравай фазы (MOCVD).
Пакрыццё SiC валодае выдатнай хімічнай устойлівасцю і тэрмічнай устойлівасцю, што робіць яго ідэальным выбарам для MOCVD-прымачоў, якія выкарыстоўваюцца ў складаных працэсах эпітаксіяльнага росту.
Ключавым кампанентам працэсу MOCVD з'яўляецца прымач, які з'яўляецца ключавым элементам для забеспячэння аднастайнасці і якасці вырабленых тонкіх плёнак.
Што такое сусцептор? Суцэптар - гэта спецыялізаваны кампанент, які выкарыстоўваецца ў працэсе MOCVD для падтрымкі і нагрэву падкладкі, на якую нанесена тонкая плёнка. Ён выконвае мноства функцый, уключаючы паглынанне электрамагнітнай энергіі, пераўтварэнне яе ў цяпло і раўнамернае размеркаванне цяпла па падкладцы. Такі раўнамерны нагрэў неабходны для росту аднастайных тонкіх плёнак дакладнай таўшчыні і складу.
Віды сцепторов:
1. Графітавыя прымачы: Графітавыя прымальнікі часта пакрытыя ахоўным пластом, такім яккарбід крэмнія (SiC), які вядомы сваёй высокай цеплаправоднасцю і стабільнасцю. TheSiC пакрыццёзабяспечвае цвёрдую ахоўную паверхню, якая супрацьстаіць карозіі і дэградацыі пры высокіх тэмпературах.
2. Токапрымачы з карбіду крэмнію (SiC): Гэтыя токапрымачы выраблены цалкам з карбіду крэмнія і валодаюць выдатнай тэрмічнай стабільнасцю і зносаўстойлівасцю. SiC-суцэптары асабліва падыходзяць для высокатэмпературных працэсаў і агрэсіўных асяроддзяў.
Як працуюць сцепторы ў MOCVD:
У працэсе MOCVD папярэднікі ўводзяцца ў рэакцыйную камеру, дзе яны раскладаюцца і рэагуюць з адукацыяй тонкай плёнкі на падкладцы. Суцэптар адыгрывае жыццёва важную ролю, забяспечваючы раўнамерны нагрэў падкладкі, што вельмі важна для дасягнення стабільных уласцівасцей плёнкі па ўсёй паверхні падкладкі. Матэрыял і канструкцыя прымача старанна адабраны ў адпаведнасці з канкрэтнымі патрабаваннямі працэсу нанясення, такімі як тэмпературны дыяпазон і хімічная сумяшчальнасць.
Перавагі выкарыстання высакаякасных прыймальнікаў:
• Палепшаная якасць плёнкі: забяспечваючы раўнамернае размеркаванне цяпла, токапрымач дапамагае атрымаць плёнкі з пастаяннай таўшчынёй і складам, што вельмі важна для прадукцыйнасці паўправадніковых прыбораў.
• Палепшаная эфектыўнасць працэсу: высакаякасныя спрымальнікі павышаюць агульную эфектыўнасць працэсу MOCVD за кошт зніжэння верагоднасці з'яўлення дэфектаў і павелічэння выхаду прыдатных да выкарыстання плёнак.
• Тэрмін службы і надзейнасць: токапрымачы, вырабленыя з трывалых матэрыялаў, такіх як SiC, забяспечваюць доўгатэрміновую надзейнасць і зніжаюць выдаткі на тэхнічнае абслугоўванне.
Суцэптар з'яўляецца неад'емным кампанентам у працэсе MOCVD і непасрэдна ўплывае на якасць і эфектыўнасць нанясення тонкай плёнкі. Каб атрымаць дадатковую інфармацыю аб даступных памерах, пераносчыках MOCVD і цэнах, не саромейцеся звяртацца да нас. Нашы інжынеры з радасцю падкажуць вам прыдатныя матэрыялы і адкажуць на ўсе вашы пытанні.
Тэлефон: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Час публікацыі: 12 жніўня 2024 г