Пласціна падкладкі SiC P-тыпу Semicera з'яўляецца ключавым кампанентам для распрацоўкі перадавых электронных і оптаэлектронных прылад. Гэтыя пласціны спецыяльна распрацаваны, каб забяспечыць павышаную прадукцыйнасць у асяроддзі з высокай магутнасцю і высокай тэмпературай, падтрымліваючы расце попыт на эфектыўныя і даўгавечныя кампаненты.
Легіраванне P-тыпу ў нашых пласцінах SiC забяспечвае палепшаную электраправоднасць і рухомасць носьбітаў зарада. Гэта робіць іх асабліва прыдатнымі для прымянення ў сілавой электроніцы, святлодыёдах і фотаэлементах, дзе нізкія страты магутнасці і высокая эфектыўнасць маюць вырашальнае значэнне.
Вырабленыя ў адпаведнасці з самымі высокімі стандартамі дакладнасці і якасці, SiC-пласціны Semicera P-тыпу забяспечваюць выдатную аднастайнасць паверхні і мінімальны ўзровень дэфектаў. Гэтыя характарыстыкі маюць жыццёва важнае значэнне для галін, дзе паслядоўнасць і надзейнасць важныя, такіх як аэракасмічная прамысловасць, аўтамабільная прамысловасць і аднаўляльныя крыніцы энергіі.
Прыхільнасць Semicera да інавацый і дасканаласці відавочная ў нашай падкладцы SiC тыпу P. Інтэгруючы гэтыя пласціны ў свой вытворчы працэс, вы гарантуеце, што вашы прылады будуць карыстацца выключнымі цеплавымі і электрычнымі ўласцівасцямі SiC, што дазваляе ім эфектыўна працаваць у складаных умовах.
Інвестыцыі ў пласціну з падкладкай SiC P-тыпу Semicera азначаюць выбар прадукту, які спалучае перадавое матэрыялазнаўства з дбайнай інжынерыяй. Semicera прысвечана падтрымцы наступнага пакалення электронных і оптаэлектронных тэхналогій, забяспечваючы неабходныя кампаненты, неабходныя для вашага поспеху ў паўправадніковай прамысловасці.
Прадметы | Вытворчасць | Даследаванні | манекен |
Параметры крышталя | |||
Палітып | 4H | ||
Памылка арыентацыі паверхні | <11-20 >4±0,15° | ||
Электрычныя параметры | |||
Дапаможнік | Азот п-тыпу | ||
Удзельнае супраціўленне | 0,015-0,025 Ом·см | ||
Механічныя параметры | |||
Дыяметр | 150,0±0,2 мм | ||
Таўшчыня | 350±25 мкм | ||
Першасная плоская арыентацыя | [1-100]±5° | ||
Першасная плоская даўжыня | 47,5±1,5 мм | ||
Другасная кватэра | Няма | ||
TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
LTV | ≤3 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤5 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤10 мкм (5 мм * 5 мм) |
Лук | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
Дэфармацыя | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
Пярэдняя (Si-грань) шурпатасць (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
Структура | |||
Шчыльнасць мікратрубы | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
Металічныя прымешкі | ≤5E10атамаў/см2 | NA | |
БЛД | ≤1500 еа/см2 | ≤3000 еа/см2 | NA |
ТСД | ≤500 эа/см2 | ≤1000 еа/см2 | NA |
Пярэдняя якасць | |||
Фронт | Si | ||
Аздабленне паверхні | Si-face CMP | ||
Часціцы | ≤60 шт./вафлю (памер ≥0,3 мкм) | NA | |
Драпіны | ≤5ea/мм. Сукупная даўжыня ≤дыяметра | Сукупная даўжыня≤2*Дыяметр | NA |
Апельсінавая скарынка/ямкі/плямы/палосы/ расколіны/забруджвання | Няма | NA | |
Сколы/водступы/пераломы/шасцігранныя пласціны | Няма | ||
Политипные вобласці | Няма | Сукупная плошча≤20% | Сукупная плошча≤30% |
Пярэдняя лазерная разметка | Няма | ||
Назад Якасць | |||
Задняя аздабленне | С-гранная CMP | ||
Драпіны | ≤5ea/мм, Сукупная даўжыня≤2*Дыяметр | NA | |
Дэфекты спіны (сколы/водступы па краях) | Няма | ||
Шурпатасць спіны | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
Лазерная разметка спіны | 1 мм (ад верхняга краю) | ||
край | |||
край | Фаска | ||
Ўпакоўка | |||
Ўпакоўка | Epi-ready з вакуумнай упакоўкай Мультывафельная касетная ўпакоўка | ||
*Заўвагі: "NA" азначае адсутнасць запыту. Элементы, якія не згадваюцца, могуць адносіцца да SEMI-STD. |