Укараненне вафельнага носьбіта
КАТАГОРЫЯ ТАВАРАЎ
▶Вафельная сістэма носьбіта для працэсаў PECVD і TALOX
• Графітавая лодка PECVD і TALOX (M4~M12)
• Вертыкальная SM-лодка (M4, M6)
• Графітавая дэталь імплантата і душа (M4~M6)
• Латок C/C і керамічнае пакрыццё
• Металічны латок RIE і керамічнае пакрыццё
• Вакуумнае ўшчыльненне: ушчыльняльнае кольца і SQ-кальцо
▶Працэс перадачы тэкстуравання і мокрага тручэння
• LSC H-Carrier або касета (M4~M12)
• LSC V-Carrier або касета (M4~M12)
• Носьбіт або касета ASC (M4, M6)
• Скрыня для пераноскі і захоўвання W/F (M4~M12)
• Серыя транспартных колаў (ролікаў).
▶Перавозчык сонечных батарэй і металічны перавозчык
• Носьбіт TRC або касета (M4~M12)
• Часопіс (з РЯМЕНЕМ)
ГРАФІТАВАЯ ЛОДКА (H-тып)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ГРАФІТАВАЯ ЛОДКА (H-тып)
21P6-240CT WF M4~M12)
ГРАФІТАВАЯ ЛОДКА (H-тып)
23P7-308CT (W/F M4~M12)
ГРАФІТАВАЯ ЛОДКА (H-тып)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
ГРАФІТАВАЯ ЛОДКА (H-тып)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF ПЕРАНОСКА І СКОРЯ ДЛЯ ЗАХОЎВАННЯ (~M12)
ЛАТОК C/C або КАРЬЕР (M4~M10)
ЛАТОК C/C або КАРЬЕР (M4~M10)
ВЕРТЫКАЛЬНАЯ ЛОДКА (SM) M6
LSC-H-КАРЫЕР (~M12)
LSC-V-КАРЬЕР (~M12)
ASC КАРЬЕР (~M6)
TRC КАРЬЕР (~M12)
TRC КАРЬЕР (~M12)
ГРАФІТАВАЯ ЛОДКА (М12)
Вафельная сістэма носьбіта для працэсу PECVD
▶ ГРАФІТАВАЯ ЛОДКА (Распрацавана CT) Працэс M10/M12
• СПЕЦЫЯЛЬНАЯ КАНЦЭПЦЫЯ ДЫЗАЙНУ
▶ ГРАФІТАВАЯ ЛОДКА (Распрацавана CT) Працэс M4/M6
▶ Аксэсуары для лодкі
▶ ВЕРТЫКАЛЬНАЯ ЛОДКА-161,7 мм ПЛАСТЫНА
▶ ВЕРТЫКАЛЬНАЯ ЛОДКА-166 мм ПЛАСТЫНА
▶ ВЕРТЫКАЛЬНАЯ ЛОДКА-161,7 мм, 166 мм ПЛАСТЫНА
Носьбіт сонечных батарэй і металічны носьбіт TRC
ТЫП: Аўтаматызацыя
ПАМЕР ПЛАСТЫ: ① 156 × 156 мм ② 156,75 × 156,75 мм
③161,7x161,7 мм ④166x166 мм
⑤ 180×180 мм ⑥ 210×210 мм
ВЫКАРЫСТАННЕ: Carry (касета)
ЁМІСЦЬ: 100 лістоў
Крок: 4,76 мм/5,953 мм/6,35 мм
ПАМЕРЫ: Прыблізна 559 × 220 × 220 мм
Прыблізна 712 × 260 × 260 мм
ПЕРАВАГІ: Атмасфера
МАТЭРЫЯЛ: ПОЛЫМЯ, БАКАВАЯ ПАНЕЛЬ-Алюміній (анадаванне)
БАКАВАЯ ПЛАСТИНА-ПОМ (Антыстатык)
Вечка ніжняй планкі-EPDM/PU/VITON (ASE)