Полуцветковыерада прапанавацьPFA касета, прэміум выбар для апрацоўкі пласцін у асяроддзях, дзе хімічная ўстойлівасць і даўгавечнасць маюць першараднае значэнне. Гэтая касета, вырабленая з перфторалкоксі (PFA) матэрыялу высокай чысціні, распрацавана, каб вытрымліваць самыя складаныя ўмовы вытворчасці паўправаднікоў, забяспечваючы бяспеку і цэласнасць вашых пласцін.
Неперасягненая хімічная ўстойлівасцьThePFA касетараспрацавана для забеспячэння найвышэйшай устойлівасці да шырокага спектру хімічных рэчываў, што робіць яго ідэальным выбарам для працэсаў, якія ўключаюць агрэсіўныя кіслоты, растваральнікі і іншыя агрэсіўныя хімікаты. Гэтая надзейная хімічная ўстойлівасць гарантуе, што касета застаецца цэлай і функцыянальнай нават у самых агрэсіўных асяроддзях, тым самым падаўжаючы тэрмін яе службы і памяншаючы неабходнасць частай замены.
Будаўніцтва высокай чысцініSemicera стPFA касетавырабляецца з звышчыстага матэрыялу PFA, які мае вырашальнае значэнне для прадухілення забруджвання падчас апрацоўкі пласцін. Такая канструкцыя высокай чысціні мінімізуе рызыку адукацыі часціц і хімічнага вымывання, гарантуючы, што вашыя пласціны абаронены ад прымешак, якія могуць парушыць іх якасць.
Палепшаная трываласць і прадукцыйнасцьРаспрацаваны для даўгавечнасці,PFA касетазахоўвае сваю структурную цэласнасць пры экстрэмальных тэмпературах і строгіх умовах апрацоўкі. Незалежна ад таго, падвяргаецца ўздзеянню высокіх тэмператур або шматразовай працы, гэтая касета захоўвае сваю форму і характарыстыкі, забяспечваючы доўгатэрміновую надзейнасць у складаных вытворчых умовах.
Дакладная тэхніка для бяспечнай працыTheКасета Semicera PFAадрозніваецца дакладнай тэхнікай, якая забяспечвае бяспечную і стабільную апрацоўку пласцін. Кожны слот старанна распрацаваны, каб надзейна ўтрымліваць пласціны на месцы, прадухіляючы любы рух або зрух, якія могуць прывесці да пашкоджання. Гэтая дакладная тэхніка падтрымлівае паслядоўнае і дакладнае размяшчэнне пласцін, што спрыяе агульнай эфектыўнасці працэсу.
Універсальнае прымяненне ў розных працэсахДзякуючы выдатным уласцівасцям матэрыялу,PFA касетадосыць універсальны для выкарыстання на розных этапах вырабу паўправаднікоў. Ён асабліва добра падыходзіць для мокрага тручэння, хімічнага асаджэння з пароў (CVD) і іншых працэсаў, якія ўключаюць рэзкія хімічныя асяроддзя. Яго адаптыўнасць робіць яго важным інструментам для падтрымання цэласнасці працэсу і якасці пласцін.
Прыхільнасць якасці і інавацыямУ Semicera мы імкнемся пастаўляць прадукты, якія адпавядаюць самым высокім галіновым стандартам. ThePFA касетаз'яўляецца прыкладам гэтай прыхільнасці, прапаноўваючы надзейнае рашэнне, якое бесперашкодна інтэгруецца ў вашыя вытворчыя працэсы. Кожная касета праходзіць строгі кантроль якасці, каб гарантаваць, што яна адпавядае нашым строгім крытэрыям прадукцыйнасці, забяспечваючы дасканаласць, якую вы чакаеце ад Semicera.
| Прадметы | Вытворчасць | Даследаванні | манекен |
| Параметры крышталя | |||
| Палітып | 4H | ||
| Памылка арыентацыі паверхні | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрычныя параметры | |||
| Дапаможнік | Азот п-тыпу | ||
| Удзельнае супраціўленне | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механічныя параметры | |||
| Дыяметр | 150,0±0,2 мм | ||
| Таўшчыня | 350±25 мкм | ||
| Першасная плоская арыентацыя | [1-100]±5° | ||
| Першасная плоская даўжыня | 47,5±1,5 мм | ||
| Другасная кватэра | Няма | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤5 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤10 мкм (5 мм * 5 мм) |
| Лук | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
| Дэфармацыя | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Пярэдняя (Si-грань) шурпатасць (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Структура | |||
| Шчыльнасць мікратрубы | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металічныя прымешкі | ≤5E10атамаў/см2 | NA | |
| БЛД | ≤1500 еа/см2 | ≤3000 еа/см2 | NA |
| ТСД | ≤500 эа/см2 | ≤1000 еа/см2 | NA |
| Пярэдняя якасць | |||
| Фронт | Si | ||
| Аздабленне паверхні | Si-face CMP | ||
| Часціцы | ≤60 шт./вафлю (памер ≥0,3 мкм) | NA | |
| Драпіны | ≤5ea/мм. Сукупная даўжыня ≤дыяметра | Сукупная даўжыня≤2*Дыяметр | NA |
| Апельсінавая скарынка/ямкі/плямы/палосы/ расколіны/забруджвання | Няма | NA | |
| Сколы/водступы/пераломы/шасцігранныя пласціны | Няма | ||
| Политипные вобласці | Няма | Сукупная плошча≤20% | Сукупная плошча≤30% |
| Пярэдняя лазерная разметка | Няма | ||
| Назад Якасць | |||
| Задняя аздабленне | С-гранная CMP | ||
| Драпіны | ≤5ea/мм, Сукупная даўжыня≤2*Дыяметр | NA | |
| Дэфекты спіны (сколы/водступы па краях) | Няма | ||
| Шурпатасць спіны | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Лазерная разметка спіны | 1 мм (ад верхняга краю) | ||
| край | |||
| край | Фаска | ||
| Ўпакоўка | |||
| Ўпакоўка | Epi-ready з вакуумнай упакоўкай Мультывафельная касетная ўпакоўка | ||
| *Заўвагі: "NA" азначае адсутнасць запыту. Элементы, якія не згадваюцца, могуць адносіцца да SEMI-STD. | |||
