ПолуцветковыепрадстаўляеПаўправадніковая касета, важны інструмент для бяспечнай і эфектыўнай працы з пласцінамі на працягу ўсяго працэсу вытворчасці паўправаднікоў. Гэтая касета, створаная з высокай дакладнасцю, гарантуе бяспечнае захоўванне і транспарціроўку вашых пласцін, захоўваючы іх цэласнасць на кожным этапе.
Найвышэйшая абарона і даўгавечнасцьTheПаўправадніковая касетаад Semicera створаны для забеспячэння максімальнай абароны вашых пласцін. Выраблены з трывалых матэрыялаў, устойлівых да забруджванняў, ён абараняе вашы пласціны ад магчымых пашкоджанняў і забруджванняў, што робіць яго ідэальным выбарам для чыстых памяшканняў. Канструкцыя касеты мінімізуе адукацыю цвёрдых часціц і гарантуе, што пласціны застануцца некранутымі і бяспечнымі падчас апрацоўкі і транспарціроўкі.
Палепшаны дызайн для аптымальнай прадукцыйнасціSemicera стПаўправадніковая касетаадрозніваецца старанна распрацаванай канструкцыяй, якая забяспечвае дакладнае выраўноўванне пласцін, зніжаючы рызыку зрушэння і механічных пашкоджанняў. Слоты касеты ідэальна размешчаны, каб надзейна ўтрымліваць кожную пласціну, прадухіляючы любы рух, які можа прывесці да драпін або іншых недахопаў.
Універсальнасць і сумяшчальнасцьTheПаўправадніковая касетаз'яўляецца універсальным і сумяшчальным з рознымі памерамі пласцін, што робіць яго прыдатным для розных этапаў вырабу паўправаднікоў. Незалежна ад таго, працуеце вы са стандартнымі або нестандартнымі памерамі пласцін, гэтая касета адаптуецца да вашых патрэбаў, прапаноўваючы гібкасць у вытворчых працэсах.
Абцякальнае кіраванне і эфектыўнасцьРаспрацаваны з улікам карыстальнікаў, theПаўправадніковая касета Semiceraлёгкі і просты ў звароце, што дазваляе хутка і эфектыўна займацца пагрузкай і разгрузкай. Такая эрганамічная канструкцыя не толькі эканоміць час, але і зніжае рызыку чалавечых памылак, забяспечваючы бесперабойную працу на вашым аб'екце.
Адпаведнасць галіновым стандартамSemicera гарантуе, штоПаўправадніковая касетаадпавядае самым высокім галіновым стандартам якасці і надзейнасці. Кожная касета праходзіць дбайнае тэсціраванне, каб гарантаваць стабільную працу ў складаных умовах вытворчасці паўправаднікоў. Такая адданасць якасці гарантуе, што вашы вафлі будуць заўсёды абаронены, падтрымліваючы высокія стандарты, неабходныя ў галіны.
| Прадметы | Вытворчасць | Даследаванні | манекен |
| Параметры крышталя | |||
| Палітып | 4H | ||
| Памылка арыентацыі паверхні | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрычныя параметры | |||
| Дапаможнік | Азот п-тыпу | ||
| Удзельнае супраціўленне | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механічныя параметры | |||
| Дыяметр | 150,0±0,2 мм | ||
| Таўшчыня | 350±25 мкм | ||
| Першасная плоская арыентацыя | [1-100]±5° | ||
| Першасная плоская даўжыня | 47,5±1,5 мм | ||
| Другасная кватэра | Няма | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤5 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤10 мкм (5 мм * 5 мм) |
| Лук | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
| Дэфармацыя | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Пярэдняя (Si-грань) шурпатасць (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Структура | |||
| Шчыльнасць мікратрубы | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металічныя прымешкі | ≤5E10атамаў/см2 | NA | |
| БЛД | ≤1500 еа/см2 | ≤3000 еа/см2 | NA |
| ТСД | ≤500 эа/см2 | ≤1000 еа/см2 | NA |
| Пярэдняя якасць | |||
| Фронт | Si | ||
| Аздабленне паверхні | Si-face CMP | ||
| Часціцы | ≤60 шт./вафлю (памер ≥0,3 мкм) | NA | |
| Драпіны | ≤5ea/мм. Сукупная даўжыня ≤дыяметра | Сукупная даўжыня≤2*Дыяметр | NA |
| Апельсінавая скарынка/ямкі/плямы/палосы/ расколіны/забруджвання | Няма | NA | |
| Сколы/водступы/пераломы/шасцігранныя пласціны | Няма | ||
| Политипные вобласці | Няма | Сукупная плошча≤20% | Сукупная плошча≤30% |
| Пярэдняя лазерная разметка | Няма | ||
| Назад Якасць | |||
| Задняя аздабленне | С-гранная CMP | ||
| Драпіны | ≤5ea/мм, Сукупная даўжыня≤2*Дыяметр | NA | |
| Дэфекты спіны (сколы/водступы па краях) | Няма | ||
| Шурпатасць спіны | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Лазерная разметка спіны | 1 мм (ад верхняга краю) | ||
| край | |||
| край | Фаска | ||
| Ўпакоўка | |||
| Ўпакоўка | Epi-ready з вакуумнай упакоўкай Мультывафельная касетная ўпакоўка | ||
| *Заўвагі: "NA" азначае адсутнасць запыту. Элементы, якія не згадваюцца, могуць адносіцца да SEMI-STD. | |||
