Агляд прадукту
TheПрасякнуты крэмніем карбід крэмнія (SiC) лапатка і носьбіт пласцінраспрацавана, каб адпавядаць высокім патрабаванням прымянення цеплавой апрацоўкі паўправаднікоў. Выраблены з высокачыстага SiC і палепшаны за кошт насычэння крэмніем, гэты прадукт прапануе унікальнае спалучэнне характарыстык пры высокіх тэмпературах, выдатную цеплаправоднасць, устойлівасць да карозіі і выдатную механічную трываласць.
Дзякуючы інтэграцыі перадавых матэрыялазнаўства з дакладным вытворчасцю, гэта рашэнне забяспечвае высокую прадукцыйнасць, надзейнасць і даўгавечнасць для вытворцаў паўправаднікоў.
Асноўныя характарыстыкі
1.Выключная ўстойлівасць да высокіх тэмператур
Матэрыялы SiC з тэмпературай плаўлення, якая перавышае 2700°C, па сваёй сутнасці стабільныя пры моцнай тэмпературы. Насычэнне крэмніем яшчэ больш павышае іх тэрмічную стабільнасць, дазваляючы ім вытрымліваць працяглы ўздзеянне высокіх тэмператур без паслаблення структуры або пагаршэння характарыстык.
2.Палепшаная цеплаправоднасць
Выключная цеплаправоднасць SiC, прасякнутага крэмніем, забяспечвае раўнамернае размеркаванне цяпла, зніжаючы цеплавую нагрузку на крытычных этапах апрацоўкі. Гэта ўласцівасць падаўжае тэрмін службы абсталявання і мінімізуе час прастою вытворчасці, што робіць яго ідэальным для высокатэмпературнай тэрмічнай апрацоўкі.
3.Устойлівасць да акіслення і карозіі
Трывалы пласт аксіду крэмнію натуральным чынам утвараецца на паверхні, забяспечваючы выдатную ўстойлівасць да акіслення і карозіі. Гэта забяспечвае доўгатэрміновую надзейнасць у суровых умовах працы, абараняючы як матэрыял, так і навакольныя кампаненты.
4.Высокая механічная трываласць і зносаўстойлівасць
SiC, прасякнуты крэмніем, адрозніваецца выдатнай трываласцю на сціск і зносаўстойлівасцю, захоўваючы сваю структурную цэласнасць ва ўмовах высокай нагрузкі і высокіх тэмператур. Гэта зніжае рызыку пашкоджанняў, звязаных з зносам, забяспечваючы стабільную працу на працягу працяглых цыклаў выкарыстання.
Тэхнічныя характарыстыкі
| Назва прадукту | SC-RSiC-Si |
| Матэрыял | Кампакт карбіду крэмнія з насычэннем крэмніем (высокай чысціні) |
| Прыкладанні | Дэталі для тэрмічнай апрацоўкі паўправаднікоў, дэталі абсталявання для вытворчасці паўправаднікоў |
| Форма дастаўкі | Літы корпус (спечаны корпус) |
| Кампазіцыя | Механічныя ўласцівасці | Модуль Юнга (ГПа) | Трываласць на выгіб (МПа) | ||
| Склад (аб'ём%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Аб'ёмная шчыльнасць (кг/м³) | 3,02 х 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Цеплаўстойлівая тэмпература°C | 1350 год | Каэфіцыент Пуасона | 0,18 (RT) | ||
| Цеплавыя ўласцівасці | Цеплаправоднасць (Вт/(м·K)) | Удзельная цеплаёмістасць (кДж/(кг·K)) | Каэфіцыент цеплавога пашырэння (1/К) | ||
| RT | 220 | 0,7 | RT~700°C | 3,4 х 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4,3 х 10-6 | |
| Утрыманне прымешак ((праміле) | |||||||||||||
| элемент | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Хуткасць кантэнту | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0,3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Прыкладанні
▪Цеплавая апрацоўка паўправаднікоў:Ідэальна падыходзіць для такіх працэсаў, як хімічнае нанясенне з паравай фазы (CVD), эпітаксійны рост і адпал, дзе дакладны кантроль тэмпературы і даўгавечнасць матэрыялу маюць вырашальнае значэнне.
▪Вафельныя носьбіты і вёслы:Прызначаны для надзейнага ўтрымання і транспарціроўкі пласцін падчас тэрмічнай апрацоўкі пры высокай тэмпературы.
▪Экстрэмальныя працоўныя ўмовы: Падыходзіць для налад, якія патрабуюць устойлівасці да цяпла, хімічнага ўздзеяння і механічных нагрузак.
Перавагі SiC, прасякнутага крэмніем
Спалучэнне карбіду крэмнію высокай чысціні і перадавой тэхналогіі насычэння крэмніем забяспечвае беспрэцэдэнтныя перавагі прадукцыйнасці:
▪Дакладнасць:Павышае дакладнасць і кантроль апрацоўкі паўправаднікоў.
▪Стабільнасць:Вытрымлівае суровыя ўмовы без шкоды для функцыянальнасці.
▪Даўгавечнасць:Павялічвае тэрмін службы абсталявання для вытворчасці паўправаднікоў.
▪Эфектыўнасць:Павышае прадукцыйнасць, забяспечваючы надзейныя і стабільныя вынікі.
Чаму выбіраюць нашы растворы SiC, прасякнутыя крэмніем?
At Полуцветковые, мы спецыялізуемся на прадастаўленні высокапрадукцыйных рашэнняў, адаптаваных да патрэб вытворцаў паўправаднікоў. Нашы прасякнутыя крэмніем карбідам крэмнію лапаткі і падстаўкі для пласцін праходзяць дбайнае тэсціраванне і кантроль якасці на адпаведнасць галіновым стандартам. Выбіраючы Semicera, вы атрымліваеце доступ да перадавых матэрыялаў, прызначаных для аптымізацыі вытворчых працэсаў і пашырэння вытворчых магчымасцей.
Тэхнічныя характарыстыкі
▪Склад матэрыялу:Карбід крэмнія высокай чысціні з крэмніевай насычэннем.
▪Дыяпазон працоўных тэмператур:Да 2700°C.
▪ Цеплаправоднасць:Выключна высокая для раўнамернага размеркавання цяпла.
▪Уласцівасці супраціву:Устойлівы да акіслення, карозіі і зносу.
▪прыкладанні:Сумяшчальны з рознымі сістэмамі цеплавой апрацоўкі паўправаднікоў.
Звяжыцеся з намі
Гатовы палепшыць свой працэс вытворчасці паўправаднікоў? КантактПолуцветковыесёння, каб даведацца больш пра нашы прасякнутыя крэмніем карбідам крэмнію лапаткі і падстаўкі для пласцін.
▪электронная пошта: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪тэлефон: +86-0574-8650 3783
▪Размяшчэнне:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, зона, правінцыя Чжэцзян, 315201, Кітай
