Носьбіты эпітаксіяльных пласцін з пакрыццём TaCзвычайна выкарыстоўваюцца пры падрыхтоўцы высокапрадукцыйных оптыка-электронных прылад, сілавых прылад, датчыкаў і іншых галінах. гэтаносьбіт эпітаксійнай пласціныадносіцца да адкладанняTaCтонкая плёнка на падкладцы ў працэсе росту крышталя для фарміравання пласціны з пэўнай структурай і характарыстыкамі для наступнай падрыхтоўкі прылады.
Для падрыхтоўкі звычайна выкарыстоўваецца тэхналогія хімічнага асаджэння з паравай фазы (CVD).Носьбіты эпітаксіяльных пласцін з пакрыццём TaC. У выніку рэакцыі металаарганічных папярэднікаў і вугляродных газаў пры высокай тэмпературы плёнка TaC можа быць асаджана на паверхні крышталічнай падкладкі. Гэтая плёнка можа мець выдатныя электрычныя, аптычныя і механічныя ўласцівасці і падыходзіць для падрыхтоўкі розных высокапрадукцыйных прылад.
Semicera забяспечвае спецыялізаваныя пакрыцця з карбіду тантала (TaC) для розных кампанентаў і носьбітаў.Вядучы працэс нанясення пакрыцця Semicera дазваляе пакрыццям з карбіду тантала (TaC) дасягнуць высокай чысціні, стабільнасці пры высокай тэмпературы і высокай хімічнай устойлівасці, паляпшаючы якасць крышталяў SIC/GAN і слаёў EPI (Суцэптар TaC з графітавым пакрыццём), а таксама падаўжэнне тэрміну службы ключавых кампанентаў рэактара. Выкарыстанне пакрыцця з карбіду тантала TaC павінна вырашыць праблему краю і палепшыць якасць росту крышталяў, а Semicera здзейсніла прарыў у тэхналогіі пакрыцця з карбіду тантала (CVD), дасягнуўшы міжнароднага прасунутага ўзроўню.
Пасля многіх гадоў распрацоўкі Semicera заваявала тэхналогіюCVD TaCсумеснымі намаганнямі навукова-даследчага аддзела. Дэфекты лёгка ўзнікнуць у працэсе росту SiC пласцін, але пасля выкарыстанняTaC, розніца істотная. Ніжэй прыводзіцца параўнанне пласцін з TaC і без яго, а таксама частак Simicera для росту монакрышталяў.
з TaC і без
Пасля выкарыстання TaC (справа)
Больш за тое, Semicera стПрадукты з пакрыццём TaCпраяўляюць больш працяглы тэрмін службы і вялікую ўстойлівасць да высокіх тэмператур у параўнанні зSiC пакрыцця.Лабараторныя вымярэнні паказалі, што нашПакрыцці TaCможа паслядоўна працаваць пры тэмпературах да 2300 градусаў Цэльсія на працягу працяглых перыядаў. Ніжэй прыведзены некаторыя прыклады нашых узораў:
