Semicera забяспечвае спецыялізаваныя пакрыцця з карбіду тантала (TaC) для розных кампанентаў і носьбітаў.Вядучы працэс нанясення пакрыцця Semicera дазваляе пакрыццям з карбіду тантала (TaC) дасягнуць высокай чысціні, стабільнасці пры высокай тэмпературы і высокай хімічнай устойлівасці, паляпшаючы якасць крышталяў SIC/GAN і слаёў EPI (Тас-суцэптар з графітавым пакрыццём), а таксама падаўжэнне тэрміну службы ключавых кампанентаў рэактара.Выкарыстанне пакрыцця з карбіду тантала TaC павінна вырашыць праблему краёў і палепшыць якасць росту крышталяў, а Semicera здзейсніла прарыў у вырашэнні тэхналогіі пакрыцця з карбіду тантала (CVD), дасягнуўшы міжнароднага прасунутага ўзроўню.
Карбід крэмнію (SiC) з'яўляецца ключавым матэрыялам у трэцім пакаленні паўправаднікоў, але яго каэфіцыент выхаду быў абмежавальным фактарам для росту прамысловасці.Пасля шырокіх выпрабаванняў у лабараторыях Semicera было выяўлена, што напылены і спечаны TaC не мае неабходнай чысціні і аднастайнасці.Наадварот, працэс CVD забяспечвае ўзровень чысціні 5 праміле і выдатную аднастайнасць.Выкарыстанне CVD TaC значна павышае каэфіцыент выхаду пласцін з карбіду крэмнію.Мы вітаем дыскусііТрохсегментныя графітавыя кольцы з пакрыццём TaC для далейшага зніжэння выдаткаў на пласціны SiC.
Пасля многіх гадоў распрацоўкі Semicera заваявала тэхналогіюCVD TaCсумеснымі намаганнямі навукова-даследчага аддзела.Дэфекты лёгка ўзнікнуць у працэсе росту SiC пласцін, але пасля выкарыстанняTaC, розніца істотная.Ніжэй прыводзіцца параўнанне пласцін з TaC і без яго, а таксама частак Simicera для росту монакрышталяў.
з TaC і без
Пасля выкарыстання TaC (справа)
Больш за тое, Semicera стПрадукты з пакрыццём TaCпраяўляюць больш працяглы тэрмін службы і вялікую ўстойлівасць да высокіх тэмператур у параўнанні зSiC пакрыцця.Лабараторныя вымярэнні паказалі, што нашTaC пакрыццяможа паслядоўна працаваць пры тэмпературах да 2300 градусаў Цэльсія на працягу працяглых перыядаў.Ніжэй прыведзены некаторыя прыклады нашых узораў:
