Накіроўвалыя графітавыя кольцы з пакрыццём TaCадносяцца да нанясення тонкага пластакарбід танталана паверхні графітавага накіроўвалага кольца, каб палепшыць яго зносаўстойлівасць, устойлівасць да высокіх тэмператур і хімічную стабільнасць. Гэта пакрыццё звычайна фарміруецца на паверхні графітавага накіроўвалага кольца з дапамогай такіх метадаў, як фізічнае асаджэнне з парнай фазы (PVD) або хімічнае асаджэнне з паравай фазы (CVD).
Semicera забяспечвае спецыялізаваныя пакрыцця з карбіду тантала (TaC) для розных кампанентаў і носьбітаў.Вядучы працэс нанясення пакрыцця Semicera дазваляе пакрыццям з карбіду тантала (TaC) дасягнуць высокай чысціні, стабільнасці пры высокай тэмпературы і высокай хімічнай устойлівасці, паляпшаючы якасць крышталяў SIC/GAN і слаёў EPI (Суцэптар TaC з графітавым пакрыццём), а таксама падаўжэнне тэрміну службы ключавых кампанентаў рэактара. Выкарыстанне пакрыцця з карбіду тантала TaC павінна вырашыць праблему краю і палепшыць якасць росту крышталяў, а Semicera здзейсніла прарыў у тэхналогіі пакрыцця з карбіду тантала (CVD), дасягнуўшы міжнароднага прасунутага ўзроўню.
Пасля многіх гадоў распрацоўкі Semicera заваявала тэхналогіюCVD TaCсумеснымі намаганнямі навукова-даследчага аддзела. Дэфекты лёгка ўзнікнуць у працэсе росту SiC пласцін, але пасля выкарыстанняTaC, розніца істотная. Ніжэй прыводзіцца параўнанне пласцін з TaC і без яго, а таксама частак Simicera для росту монакрышталяў.
Асноўныя асаблівасці графітавых накіроўвалых кольцаў з пакрыццём TaC ўключаюць:
1. Устойлівасць да высокіх тэмператур: пакрыццё TaC мае выдатную ўстойлівасць да высокіх тэмператур і можа падтрымліваць стабільнасць пры высокіх тэмпературах.
2. Зносаўстойлівасць: высокая цвёрдасць тонкага пласта карбіду тантала забяспечвае накіравальнае кольца добрую зносаўстойлівасць і павялічвае тэрмін яго службы.
3. Хімічная стабільнасць: пакрыццё TaC валодае высокай устойлівасцю да хімічнай карозіі, што робіць яго прыдатным для прымянення ў некаторых агрэсіўных асяроддзях.
4. Паменшыць трэнне: пакрыццё TaC можа эфектыўна паменшыць трэнне паміж графітавым накіроўвалым кольцам і іншымі кампанентамі і павысіць эфектыўнасць механічных ушчыльненняў.
з TaC і без
Пасля выкарыстання TaC (справа)
Больш за тое, Semicera стПрадукты з пакрыццём TaCпраяўляюць больш працяглы тэрмін службы і вялікую ўстойлівасць да высокіх тэмператур у параўнанні зSiC пакрыцця.Лабараторныя вымярэнні паказалі, што нашПакрыцці TaCможа паслядоўна працаваць пры тэмпературах да 2300 градусаў Цэльсія на працягу працяглых перыядаў. Ніжэй прыведзены некаторыя прыклады нашых узораў:
