Пласціна з пакрыццём TaC - гэта спецыялізаваны дыск, прызначаны для выкарыстання ў працэсах эпітаксіі SiC, выраблены з высокай дакладнасцю з высакаякаснага графітавага матэрыялу. Яго паверхня дбайна пакрыта карбідам тантала (TaC), злучэннем, вядомым сваёй выключнай чысцінёй і трываласцю. Пакрыццё TaC павышае даўгавечнасць і ўстойлівасць пласціны да высокіх тэмператур, што робіць яе ідэальнай для цяжкіх умоў працэсаў эпітаксіі SiC.
Гэтая інавацыйная пласціна з пакрыццём TaC - гэта спецыялізаваны дыск, прызначаны для выкарыстання ў працэсах эпітаксіі SiC, выраблены з высокай дакладнасцю з высакаякаснага графітавага матэрыялу. Паверхня пласціны з пакрыццём TaC старанна пакрыта карбідам тантала (TaC), злучэннем, вядомым сваёй выключнай чысцінёй і трываласцю. служыць надзейнай платформай для пераноскі пласцін на розных этапах эпітаксіяльнага росту SiC. Яго графітавая аснова высокай чысціні забяспечвае ўстойлівую і інертную паверхню, а пакрыццё TaC дадае дадатковы ўзровень абароны ад хімічных рэакцый і зносу.
СемікэпохіПласціна з пакрыццём TaC настроена ў адпаведнасці з канкрэтнымі патрабаваннямі кліентаў, забяспечваючы аптымальную прадукцыйнасць і сумяшчальнасць з іх эпітаксіяльнымі сістэмамі SiC. Незалежна ад памеру, формы ці іншых спецыфікацый, гэтыя пласціны адаптаваны для задавальнення унікальных патрэб кожнага прымянення.
з TaC і без
Пасля выкарыстання TaC (справа)
Больш за тое, Semicera стПрадукты з пакрыццём TaCпраяўляюць больш працяглы тэрмін службы і вялікую ўстойлівасць да высокіх тэмператур у параўнанні зSiC пакрыцця.Лабараторныя вымярэнні паказалі, што нашTaC пакрыццяможа паслядоўна працаваць пры тэмпературах да 2300 градусаў Цэльсія на працягу працяглых перыядаў. Ніжэй прыведзены некаторыя прыклады нашых узораў:
