Semicera забяспечвае спецыялізаваныя пакрыцця з карбіду тантала (TaC) для розных кампанентаў і носьбітаў.Вядучы працэс нанясення пакрыцця Semicera дазваляе пакрыццям з карбіду тантала (TaC) дасягнуць высокай чысціні, стабільнасці пры высокай тэмпературы і высокай хімічнай устойлівасці, паляпшаючы якасць крышталяў SIC/GAN і слаёў EPI (Тас-суцэптар з графітавым пакрыццём), а таксама падаўжэнне тэрміну службы ключавых кампанентаў рэактара. Выкарыстанне пакрыцця з карбіду тантала TaC павінна вырашыць праблему краёў і палепшыць якасць росту крышталяў, а Semicera здзейсніла прарыў у вырашэнні тэхналогіі пакрыцця з карбіду тантала (CVD), дасягнуўшы міжнароднага прасунутага ўзроўню.
Носьбіты для пласцін з карбідам тантала шырока выкарыстоўваюцца ў працэсах апрацоўкі і апрацоўкі пласцін у працэсах вытворчасці паўправаднікоў. Яны забяспечваюць стабільную падтрымку і абарону для забеспячэння бяспекі, дакладнасці і паслядоўнасці пласцін падчас вытворчага працэсу. Пакрыцці з карбіду тантала дазваляюць падоўжыць тэрмін службы носьбіта, знізіць выдаткі і палепшыць якасць і надзейнасць паўправадніковых вырабаў.
Апісанне носьбіта пласцін з карбідам тантала наступнае:
1. Выбар матэрыялу: карбід тантала - гэта матэрыял з выдатнымі характарыстыкамі, высокай цвёрдасцю, высокай тэмпературай плаўлення, устойлівасцю да карозіі і выдатнымі механічнымі ўласцівасцямі, таму ён шырока выкарыстоўваецца ў працэсе вытворчасці паўправаднікоў.
2. Пакрыццё паверхні: пакрыццё з карбіду тантала наносіцца на паверхню носьбіта пласцін праз спецыяльны працэс нанясення пакрыцця для адукацыі аднастайнага і шчыльнага пакрыцця з карбіду тантала. Такое пакрыццё можа забяспечыць дадатковую абарону і зносаўстойлівасць, пры гэтым валодаючы добрай цеплаправоднасцю.
3. Плоскасць і дакладнасць: падстаўка для пласцін з карбідам тантала мае высокую ступень плоскаснасці і дакладнасці, што забяспечвае стабільнасць і дакладнасць пласцін падчас вытворчага працэсу. Плоскасць і аздабленне паверхні носьбіта маюць вырашальнае значэнне для забеспячэння якасці і прадукцыйнасці пласціны.
4. Тэмпературная стабільнасць: носьбіты для пласцін з карбідам тантала могуць захоўваць стабільнасць у асяроддзі з высокай тэмпературай без дэфармацыі або расхіствання, забяспечваючы стабільнасць і кансістэнцыю пласцін у высокатэмпературных працэсах.
5. Устойлівасць да карозіі: пакрыцця з карбіду тантала валодаюць выдатнай каразійнай устойлівасцю, могуць супрацьстаяць эрозіі хімічных рэчываў і растваральнікаў і абараняюць носьбіт ад вадкай і газавай карозіі.
з TaC і без
Пасля выкарыстання TaC (справа)
Больш за тое, Semicera стПрадукты з пакрыццём TaCпраяўляюць больш працяглы тэрмін службы і вялікую ўстойлівасць да высокіх тэмператур у параўнанні зSiC пакрыцця.Лабараторныя вымярэнні паказалі, што нашTaC пакрыццяможа паслядоўна працаваць пры тэмпературах да 2300 градусаў Цэльсія на працягу працяглых перыядаў. Ніжэй прыведзены некаторыя прыклады нашых узораў:
