ПолуцветковыеTaC Coating Chuck, сучасны вакуумны патрон, абсталяваныTaC пакрыцця, спецыяльна распрацаваны для паўправадніковых печаў. Гэтая інавацыйная тэхналогія, створаная для задавальнення строгіх патрабаванняў сучасных працэсаў вытворчасці паўправаднікоў, устанаўлівае новы стандарт дакладнасці, надзейнасці і даўгавечнасці.
У аснове вытворчасці паўправаднікоў ляжыць крытычная патрэба ў дакладным кантролі і стабільнасці падчас апрацоўкі. Патрон TaC Coating Chuck задавальняе гэтую патрэбу шляхам інтэграцыі перадавыхTaC (карбід тантала) пакрыццяна яго паверхню, забяспечваючы выключную тэрмічную стабільнасць, даўгавечнасць і ўстойлівасць да хімічнай карозіі. Гэта унікальнае спалучэнне матэрыялаў не толькі павышае прадукцыйнасць патрона, але і павялічвае тэрмін яго эксплуатацыі, забяспечваючы стабільныя вынікі на працягу незлічоных цыклаў.
Адной з ключавых пераваг патрона з пакрыццём TaC з'яўляецца яго здольнасць падтрымліваць высокі ўзровень цэласнасці вакууму на працягу ўсяго цыкла апрацоўкі. Эфектыўна мінімізуючы вылучэнне газаў і забруджванне, гэтая тэхналогія забяспечвае чысціню і якасць паўправадніковых матэрыялаў, што прыводзіць да высокай прадукцыйнасці і надзейнасці прылады.
Больш за тое, патрон TaC Coating Chuck прапануе неперасягненую ўніверсальнасць, умяшчаючы шырокі спектр паўправадніковых падкладак з рознымі памерамі і геаметрыяй. Наладжвальны дызайн TaC Coating Chuck дазваляе бесперашкодна інтэграваць у існуючыя сістэмы паўправадніковых печаў, мінімізуючы час прастою і максімальную прадукцыйнасць.
З патронам TaC Coating Chuck вытворцы паўправаднікоў могуць дасягнуць больш высокай прапускной здольнасці, палепшанай прыбытковасці і зніжэння агульных выдаткаў. Будзь то ў даследчых лабараторыях або буйных вытворчых прадпрыемствах, гэтая перадавая тэхналогія дазваляе прафесіяналам у галіне паўправаднікоў пашыраць межы інавацый, захоўваючы строгія стандарты якасці.
з TaC і без
Пасля выкарыстання TaC (справа)
Больш за тое, Semicera стПрадукты з пакрыццём TaCпраяўляюць больш працяглы тэрмін службы і вялікую ўстойлівасць да высокіх тэмператур у параўнанні зSiC пакрыцця.Лабараторныя вымярэнні паказалі, што нашTaC пакрыццяможа паслядоўна працаваць пры тэмпературах да 2300 градусаў Цэльсія на працягу працяглых перыядаў. Ніжэй прыведзены некаторыя прыклады нашых узораў:
