Графітавы ліст з пакрыццём з карбіду танталауяўляе сабой графітавы матэрыял з тонкім пластомкарбід танталана паверхні падкладкі. Тонкі пласт карбіду тантала звычайна фарміруецца на паверхні графітавай падкладкі такімі метадамі, як фізічнае асаджэнне з парнай фазы (PVD) або хімічнае асаджэнне з паравай фазы (CVD). Гэта пакрыццё валодае выдатнымі ўласцівасцямі, такімі як высокая цвёрдасць, выдатная зносаўстойлівасць, устойлівасць да карозіі і высокая тэмпературная стабільнасць.
Semicera забяспечвае спецыялізаваныя пакрыцця з карбіду тантала (TaC) для розных кампанентаў і носьбітаў.Вядучы працэс нанясення пакрыцця Semicera дазваляе пакрыццям з карбіду тантала (TaC) дасягнуць высокай чысціні, стабільнасці пры высокай тэмпературы і высокай хімічнай устойлівасці, паляпшаючы якасць крышталяў SIC/GAN і слаёў EPI (Суцэптар TaC з графітавым пакрыццём), а таксама падаўжэнне тэрміну службы ключавых кампанентаў рэактара. Выкарыстанне пакрыцця з карбіду тантала TaC павінна вырашыць праблему краю і палепшыць якасць росту крышталяў, а Semicera здзейсніла прарыў у тэхналогіі пакрыцця з карбіду тантала (CVD), дасягнуўшы міжнароднага прасунутага ўзроўню.
Пасля многіх гадоў распрацоўкі Semicera заваявала тэхналогіюCVD TaCсумеснымі намаганнямі навукова-даследчага аддзела. Дэфекты лёгка ўзнікнуць у працэсе росту SiC пласцін, але пасля выкарыстанняTaC, розніца істотная. Ніжэй прыводзіцца параўнанне пласцін з TaC і без яго, а таксама частак Simicera для росту монакрышталяў.
Асноўныя перавагі графітавага ліста з карбідам тантала ўключаюць:
1. Устойлівасць да высокіх тэмператур: карбід тантала мае высокую тэмпературу плаўлення і выдатную стабільнасць пры высокіх тэмпературах, што робіць графітавы ліст з пакрыццём прыдатным для выкарыстання ў асяроддзях з высокай тэмпературай.
2. Устойлівасць да карозіі: пакрыццё з карбіду тантала можа супрацьстаяць эрозіі многіх хімічных агрэсіўных рэчываў і падоўжыць тэрмін службы матэрыялу.
3. Высокая цвёрдасць: высокая цвёрдасць тонкага пласта карбіду тантала забяспечвае добрую зносаўстойлівасць і падыходзіць для прыкладанняў, якія патрабуюць высокай зносаўстойлівасці.
4. Хімічная ўстойлівасць: пакрыццё з карбіду тантала валодае выдатнай устойлівасцю да хімічнай карозіі і падыходзіць для выкарыстання ў некаторых агрэсіўных асяроддзях.
з TaC і без
Пасля выкарыстання TaC (справа)
Больш за тое, Semicera стПрадукты з пакрыццём TaCпраяўляюць больш працяглы тэрмін службы і вялікую ўстойлівасць да высокіх тэмператур у параўнанні зSiC пакрыцця.Лабараторныя вымярэнні паказалі, што нашПакрыцці TaCможа паслядоўна працаваць пры тэмпературах да 2300 градусаў Цэльсія на працягу працяглых перыядаў. Ніжэй прыведзены некаторыя прыклады нашых узораў:
