Апорная пласціна токоприемника з пакрыццём з карбіду танталауяўляе сабой цягнік або апорную структуру, якая пакрыта тонкім пластомкарбід тантала. Гэта пакрыццё можа быць сфарміравана на паверхні ўспрымальніка з дапамогай такіх метадаў, як фізічнае асаджэнне з парнай фазы (PVD) або хімічнае асаджэнне з парнай фазы (CVD), што надае прымальніку цудоўныя ўласцівасцікарбід тантала.
Semicera забяспечвае спецыялізаваныя пакрыцця з карбіду тантала (TaC) для розных кампанентаў і носьбітаў.Вядучы працэс нанясення пакрыцця Semicera дазваляе пакрыццям з карбіду тантала (TaC) дасягнуць высокай чысціні, стабільнасці пры высокай тэмпературы і высокай хімічнай устойлівасці, паляпшаючы якасць крышталяў SIC/GAN і слаёў EPI (Суцэптар TaC з графітавым пакрыццём), а таксама падаўжэнне тэрміну службы ключавых кампанентаў рэактара. Выкарыстанне пакрыцця з карбіду тантала TaC павінна вырашыць праблему краю і палепшыць якасць росту крышталяў, а Semicera здзейсніла прарыў у тэхналогіі пакрыцця з карбіду тантала (CVD), дасягнуўшы міжнароднага прасунутага ўзроўню.
Пасля многіх гадоў распрацоўкі Semicera заваявала тэхналогіюCVD TaCсумеснымі намаганнямі навукова-даследчага аддзела. Дэфекты лёгка ўзнікнуць у працэсе росту SiC пласцін, але пасля выкарыстанняTaC, розніца істотная. Ніжэй прыводзіцца параўнанне пласцін з TaC і без яго, а таксама частак Simicera для росту монакрышталяў.
Асноўныя характарыстыкі апорных пласцін з карбідам тантала ўключаюць:
1. Стабільнасць да высокіх тэмператур: карбід тантала валодае выдатнай устойлівасцю да высокіх тэмператур, што робіць апорную пласціну з пакрыццём прыдатнай для патрэб падтрымкі ў працоўных умовах з высокай тэмпературай.
2. Устойлівасць да карозіі: пакрыццё з карбіду тантала мае добрую каразійную ўстойлівасць, можа супрацьстаяць хімічнай карозіі і акісленню і падоўжыць тэрмін службы асновы.
3. Высокая цвёрдасць і зносаўстойлівасць: высокая цвёрдасць пакрыцця з карбіду тантала забяспечвае апорную пласціну добрай зносаўстойлівасцю, што падыходзіць для выпадкаў, калі патрабуецца высокая зносаўстойлівасць.
4. Хімічная ўстойлівасць: карбід тантала валодае высокай устойлівасцю да розных хімічных рэчываў, дзякуючы чаму апорная пласціна з пакрыццём добра працуе ў некаторых агрэсіўных асяроддзях.
з TaC і без
Пасля выкарыстання TaC (справа)
Больш за тое, Semicera стПрадукты з пакрыццём TaCпраяўляюць больш працяглы тэрмін службы і вялікую ўстойлівасць да высокіх тэмператур у параўнанні зSiC пакрыцця.Лабараторныя вымярэнні паказалі, што нашПакрыцці TaCможа паслядоўна працаваць пры тэмпературах да 2300 градусаў Цэльсія на працягу працяглых перыядаў. Ніжэй прыведзены некаторыя прыклады нашых узораў:
