Апрацоўка MEMS - злучэнне: прымяненне і прадукцыйнасць у паўправадніковай прамысловасці, індывідуальны сэрвіс Semicera
У мікраэлектроннай і паўправадніковай прамысловасці тэхналогія MEMS (мікраэлектрамеханічныя сістэмы) стала адной з асноўных тэхналогій, якія рухаюць інавацыі і высокапрадукцыйнае абсталяванне. З развіццём навукі і тэхнікі тэхналогія MEMS шырока выкарыстоўваецца ў датчыках, выканаўчых механізмах, аптычных прыладах, медыцынскім абсталяванні, аўтамабільнай электроніцы і іншых галінах і паступова стала незаменнай часткай сучасных тэхналогій. У гэтых галінах працэс злучэння (Bonding), як ключавы этап апрацоўкі MEMS, адыгрывае важную ролю ў прадукцыйнасці і надзейнасці прылады.
Склейванне - гэта тэхналогія, якая трывала злучае два ці больш матэрыялаў фізічнымі або хімічнымі метадамі. Звычайна пласты розных матэрыялаў неабходна злучаць у прыладах MEMS для дасягнення структурнай цэласнасці і функцыянальнай рэалізацыі. У працэсе вытворчасці прылад MEMS злучэнне - гэта не толькі працэс злучэння, але і непасрэдна ўплывае на тэрмічную стабільнасць, механічную трываласць, электрычныя характарыстыкі і іншыя аспекты прылады.
У высокадакладнай апрацоўцы MEMS тэхналогія злучэння павінна забяспечваць цесную сувязь паміж матэрыяламі, пазбягаючы пры гэтым любых дэфектаў, якія ўплываюць на прадукцыйнасць прылады. Такім чынам, дакладны кантроль працэсу склейвання і высакаякасныя склейвальныя матэрыялы з'яўляюцца ключавымі фактарамі, якія гарантуюць, што канчатковы прадукт адпавядае галіновым стандартам.
Прымяненне злучэння MEMS у паўправадніковай прамысловасці
У паўправадніковай прамысловасці тэхналогія MEMS шырока выкарыстоўваецца ў вытворчасці мікрапрылад, такіх як датчыкі, акселерометры, датчыкі ціску і гіраскопы. З ростам попыту на мініяцюрныя, інтэграваныя і інтэлектуальныя прадукты патрабаванні да дакладнасці і прадукцыйнасці прылад MEMS таксама растуць. У гэтых прыкладаннях тэхналогія злучэння выкарыстоўваецца для злучэння розных матэрыялаў, такіх як крэмніевыя пласціны, шкло, металы і палімеры, для дасягнення эфектыўных і стабільных функцый.
1. Датчыкі ціску і акселерометры
У аўтамабільнай, аэракасмічнай, бытавой электроніцы і г.д. датчыкі ціску і акселерометры MEMS шырока выкарыстоўваюцца ў сістэмах вымярэння і кіравання. Працэс злучэння выкарыстоўваецца для злучэння крамянёвых чыпаў і сэнсарных элементаў для забеспячэння высокай адчувальнасці і дакладнасці. Гэтыя датчыкі павінны вытрымліваць экстрэмальныя ўмовы навакольнага асяроддзя, а высакаякасныя працэсы злучэння могуць эфектыўна прадухіляць адлучэнне або няспраўнасць матэрыялаў з-за змены тэмпературы.
2. Мікрааптычныя прылады і аптычныя пераключальнікі MEMS
У галіне аптычных камунікацый і лазерных прылад важную ролю гуляюць аптычныя прылады MEMS і аптычныя перамыкачы. Тэхналогія злучэння выкарыстоўваецца для дасягнення дакладнага злучэння паміж прыладамі MEMS на аснове крэмнія і такімі матэрыяламі, як аптычныя валакна і люстэркі, каб забяспечыць эфектыўнасць і стабільнасць перадачы аптычнага сігналу. Асабліва ў прыкладаннях з высокай частатой, шырокай прапускной здольнасцю і перадачай на вялікія адлегласці, высокапрадукцыйная тэхналогія злучэння мае вырашальнае значэнне.
3. МЭМС-гіраскопы і інерцыяльныя датчыкі
Гіраскопы MEMS і інерцыяльныя датчыкі шырока выкарыстоўваюцца для дакладнай навігацыі і пазіцыянавання ў высокакласных галінах, такіх як аўтаномнае кіраванне, робататэхніка і аэракасмічная прамысловасць. Высокадакладныя працэсы злучэння могуць забяспечыць надзейнасць прылад і пазбегнуць зніжэння прадукцыйнасці або адмовы падчас працяглай працы або працы на высокай частаце.
Асноўныя патрабаванні да прадукцыйнасці тэхналогіі злучэння пры апрацоўцы MEMS
Пры апрацоўцы MEMS якасць працэсу злучэння непасрэдна вызначае прадукцыйнасць, тэрмін службы і стабільнасць прылады. Каб гарантаваць, што прылады MEMS могуць надзейна працаваць на працягу доўгага часу ў розных сцэнарыях прымянення, тэхналогія злучэння павінна мець наступныя ключавыя характарыстыкі:
1. Высокая тэрмічная стабільнасць
Многія ўмовы прымянення ў паўправадніковай прамысловасці маюць высокія тэмпературныя ўмовы, асабліва ў галіне аўтамабіляў, аэракасмічнай прамысловасці і г.д. Тэрмастабільнасць злучнага матэрыялу мае вырашальнае значэнне і можа супрацьстаяць перападам тэмпературы без пагаршэння якасці або збою.
2. Высокая зносаўстойлівасць
Прылады MEMS звычайна ўключаюць мікрамеханічныя структуры, і працяглае трэнне і рух могуць выклікаць знос злучальных частак. Злучны матэрыял павінен мець выдатную зносаўстойлівасць, каб забяспечыць стабільнасць і эфектыўнасць прылады пры працяглым выкарыстанні.
3. Высокая чысціня
Паўправадніковая прамысловасць прад'яўляе вельмі жорсткія патрабаванні да чысціні матэрыялаў. Любое дробнае забруджванне можа прывесці да збою прылады або пагаршэння прадукцыйнасці. Такім чынам, матэрыялы, якія выкарыстоўваюцца ў працэсе склейвання, павінны мець надзвычай высокую чысціню, каб гарантаваць, што прылада не падвяргаецца ўздзеянню знешніх забруджванняў падчас працы.
4. Дакладная дакладнасць склейвання
Прыладам MEMS часта патрабуецца дакладнасць апрацоўкі на мікронным ці нават нанаметровым узроўні. Працэс склейвання павінен забяспечваць дакладную стыкоўку кожнага пласта матэрыялу, каб гарантаваць, што функцыі і прадукцыйнасць прылады не закрануты.
Аноднае злучэнне
Аноднае злучэнне:
● Дастасавальна для злучэння крэмніевых пласцін са шклом, металам і шклом, паўправадніком і сплавам, а таксама паўправадніком і шклом
Эўтэктоідная сувязь:
● Дастасавальна да такіх матэрыялаў, як PbSn, AuSn, CuSn і AuSi
Склейванне клеем:
● Выкарыстоўвайце спецыяльны клей, прыдатны для спецыяльных клеяў, такіх як AZ4620 і SU8
● Дастасавальна да 4 і 6 цаляў
Паслуга індывідуальнага склейвання Semicera
З'яўляючыся вядучым у галіны пастаўшчыком рашэнняў для апрацоўкі MEMS, Semicera імкнецца прадастаўляць кліентам высокадакладныя і стабільныя індывідуальныя паслугі злучэння. Наша тэхналогія злучэння можа быць шырока выкарыстана для злучэння розных матэрыялаў, у тым ліку крэмнію, шкла, металу, керамікі і г.д., забяспечваючы інавацыйныя рашэнні для высокага класа прымянення ў галіне паўправаднікоў і MEMS.
Semicera мае перадавое вытворчае абсталяванне і тэхнічныя каманды, а таксама можа забяспечыць індывідуальныя рашэнні для склейвання ў адпаведнасці з канкрэтнымі патрэбамі кліентаў. Незалежна ад таго, ці з'яўляецца гэта надзейным злучэннем пры высокай тэмпературы і высокім ціску, або дакладным злучэннем мікрапрылад, Semicera можа задаволіць розныя патрабаванні складанага працэсу, каб гарантаваць, што кожны прадукт адпавядае самым высокім стандартам якасці.
Нашы індывідуальныя паслугі склейвання не абмяжоўваюцца звычайнымі працэсамі склейвання, але таксама ўключаюць склейванне металаў, склейванне пад тэрмічны сціск, склейванне клеем і іншыя працэсы, якія могуць забяспечыць прафесійную тэхнічную падтрымку для розных матэрыялаў, структур і патрабаванняў прымянення. Акрамя таго, Semicera таксама можа прадастаўляць кліентам поўны спектр паслуг ад распрацоўкі прататыпа да масавай вытворчасці, каб гарантаваць дакладнае выкананне ўсіх тэхнічных патрабаванняў кліентаў.
