Semicera стВафельная касетаз'яўляецца найважнейшым кампанентам у працэсе вытворчасці паўправаднікоў, прызначаным для надзейнага ўтрымання і транспарціроўкі далікатных паўправадніковых пласцін. TheВафельная касетазабяспечвае выключную абарону, забяспечваючы захаванне кожнай пласціны ад забруджванняў і фізічных пашкоджанняў падчас апрацоўкі, захоўвання і транспарціроўкі.
Пабудаваны з высокачыстых, хімікатаўстойлівых матэрыялаў, SemiceraВафельная касетагарантуе найвышэйшы ўзровень чысціні і даўгавечнасці, неабходны для захавання цэласнасці пласцін на кожным этапе вытворчасці. Дакладная тэхналогія гэтых касет дазваляе бесперабойную інтэграцыю з аўтаматызаванымі сістэмамі апрацоўкі, зводзячы да мінімуму рызыку забруджвання і механічных пашкоджанняў.
Дызайн стВафельная касетатаксама падтрымлівае аптымальны паветраны паток і кантроль тэмпературы, што вельмі важна для працэсаў, якія патрабуюць пэўных умоў навакольнага асяроддзя. Незалежна ад таго, выкарыстоўваецца Ці Semicera ў чыстых памяшканнях або падчас тэрмічнай апрацоўкіВафельная касетараспрацавана для задавальнення строгіх патрабаванняў паўправадніковай прамысловасці, забяспечваючы надзейную і стабільную прадукцыйнасць для павышэння эфектыўнасці вытворчасці і якасці прадукцыі.
| Прадметы | Вытворчасць | Даследаванні | манекен |
| Параметры крышталя | |||
| Палітып | 4H | ||
| Памылка арыентацыі паверхні | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрычныя параметры | |||
| Дапаможнік | Азот п-тыпу | ||
| Удзельнае супраціўленне | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механічныя параметры | |||
| Дыяметр | 150,0±0,2 мм | ||
| Таўшчыня | 350±25 мкм | ||
| Першасная плоская арыентацыя | [1-100]±5° | ||
| Першасная плоская даўжыня | 47,5±1,5 мм | ||
| Другасная кватэра | Няма | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤5 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤10 мкм (5 мм * 5 мм) |
| Лук | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
| Дэфармацыя | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Пярэдняя (Si-грань) шурпатасць (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Структура | |||
| Шчыльнасць мікратрубы | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металічныя прымешкі | ≤5E10атамаў/см2 | NA | |
| БЛД | ≤1500 еа/см2 | ≤3000 еа/см2 | NA |
| ТСД | ≤500 эа/см2 | ≤1000 еа/см2 | NA |
| Пярэдняя якасць | |||
| Фронт | Si | ||
| Аздабленне паверхні | Si-face CMP | ||
| Часціцы | ≤60 шт./вафлю (памер ≥0,3 мкм) | NA | |
| Драпіны | ≤5ea/мм. Сукупная даўжыня ≤дыяметра | Сукупная даўжыня≤2*Дыяметр | NA |
| Апельсінавая скарынка/ямкі/плямы/палосы/ расколіны/забруджвання | Няма | NA | |
| Сколы/водступы/пераломы/шасцігранныя пласціны | Няма | ||
| Политипные вобласці | Няма | Сукупная плошча≤20% | Сукупная плошча≤30% |
| Пярэдняя лазерная разметка | Няма | ||
| Назад Якасць | |||
| Задняя аздабленне | С-гранная CMP | ||
| Драпіны | ≤5ea/мм, Сукупная даўжыня≤2*Дыяметр | NA | |
| Дэфекты спіны (сколы/водступы па краях) | Няма | ||
| Шурпатасць спіны | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Лазерная разметка спіны | 1 мм (ад верхняга краю) | ||
| край | |||
| край | Фаска | ||
| Ўпакоўка | |||
| Ўпакоўка | Epi-ready з вакуумнай упакоўкай Мультывафельная касетная ўпакоўка | ||
| *Заўвагі: "NA" азначае адсутнасць запыту. Элементы, якія не згадваюцца, могуць адносіцца да SEMI-STD. | |||
