Рука для апрацоўкі пласцінз'яўляецца ключавым абсталяваннем, якое выкарыстоўваецца ў працэсе вытворчасці паўправаднікоў для апрацоўкі, перадачы і размяшчэннявафлі. Звычайна ён складаецца з рабатызаванай рукі, захопу і сістэмы кіравання з магчымасцю дакладнага перамяшчэння і пазіцыянавання.Рукі для апрацоўкі вафельшырока выкарыстоўваюцца ў розных звёнах вытворчасці паўправаднікоў, уключаючы такія этапы працэсу, як загрузка пласцін, ачыстка, нанясенне тонкіх плёнак, тручэнне, літаграфія і праверка. Яго дакладнасць, надзейнасць і магчымасці аўтаматызацыі неабходныя для забеспячэння якасці, эфектыўнасці і паслядоўнасці вытворчага працэсу.
Асноўныя функцыі рычага для апрацоўкі пласцін ўключаюць:
1. Перадача пласцін: рука для апрацоўкі пласцін здольная дакладна пераносіць пласціны з аднаго месца ў іншае, напрыклад, браць пласціны са стэлажа для захоўвання і змяшчаць іх у прыладу апрацоўкі.
2. Размяшчэнне і арыентацыя: рука для апрацоўкі пласцін здольная дакладна пазіцыянаваць і арыентаваць пласціну, каб забяспечыць правільнае выраўноўванне і становішча для наступных аперацый апрацоўкі або вымярэння.
3. Зацісканне і вызваленне: рукі для апрацоўкі пласцін звычайна абсталяваны захопамі, якія могуць бяспечна заціскаць пласціны і адпускаць іх пры неабходнасці для забеспячэння бяспечнай перадачы і апрацоўкі пласцін.
4. Аўтаматызаванае кіраванне: рука для апрацоўкі пласцін абсталявана ўдасканаленай сістэмай кіравання, якая можа аўтаматычна выконваць зададзеныя паслядоўнасці дзеянняў, павышаць эфектыўнасць вытворчасці і памяншаць чалавечыя памылкі.
Характарыстыкі і перавагі
1. Дакладныя памеры і тэрмічная стабільнасць.
2.Высокая ўдзельная калянасць і выдатная цеплавая аднастайнасць, доўгатэрміновае выкарыстанне не лёгка сагнуць дэфармацыі.
3. Ён мае гладкую паверхню і добрую зносаўстойлівасць, што дазваляе бяспечна абыходзіцца з чыпам без забруджвання часціцамі.
4. Удзельнае супраціўленне карбіду крэмнію ў 106-108Ω, немагнітнае, у адпаведнасці з патрабаваннямі спецыфікацыі супраць ESD; Гэта можа прадухіліць назапашванне статычнай электрычнасці на паверхні чыпа.
5.Добрая цеплаправоднасць, нізкі каэфіцыент пашырэння.
