Полуцветковыез гонарам прадстаўляе сваё4" падкладкі з аксіду галію, наватарскі матэрыял, створаны для задавальнення растучых патрэб высокапрадукцыйных паўправадніковых прыбораў. Аксід галію (Ga2O3) падкладкі забяспечваюць звышшырокую забароненую зону, што робіць іх ідэальнымі для сілавой электронікі новага пакалення, УФ-оптаэлектронікі і высокачашчынных прылад.
Асноўныя характарыстыкі:
• Звышшырокі зазор:4" падкладкі з аксіду галіюможа пахваліцца шырынёй забароненай зоны прыблізна 4,8 эВ, што забяспечвае выключную ўстойлівасць да напружання і тэмпературы, значна пераўзыходзячы традыцыйныя паўправадніковыя матэрыялы, такія як крэмній.
•Высокае напружанне прабоя: Гэтыя падкладкі дазваляюць прыладам працаваць пры больш высокіх напружаннях і магутнасцях, што робіць іх ідэальнымі для высакавольтных прыкладанняў у сілавой электроніцы.
•Палепшаная тэрмічная стабільнасць: Субстраты з аксіду галію забяспечваюць выдатную цеплаправоднасць, забяспечваючы стабільную працу ў экстрэмальных умовах, ідэальна падыходзяць для выкарыстання ў складаных умовах.
•Высокая якасць матэрыялу: З нізкай шчыльнасцю дэфектаў і высокай якасцю крышталяў гэтыя падкладкі забяспечваюць надзейную і стабільную працу, павышаючы эфектыўнасць і даўгавечнасць вашых прылад.
•Універсальнае прымяненне: Падыходзіць для шырокага спектру прымянення, уключаючы сілавыя транзістары, дыёды Шоткі і святлодыёдныя прылады UV-C, забяспечваючы інавацыі як у энергетычнай, так і ў оптаэлектроннай галінах.
Даследуйце будучыню паўправадніковых тэхналогій з Semicera's4" падкладкі з аксіду галію. Нашы падкладкі распрацаваны для падтрымкі самых перадавых прыкладанняў, забяспечваючы надзейнасць і эфектыўнасць, неабходныя для сучасных перадавых прылад. Давярайце Semicera якасць і інавацыі ў вашых паўправадніковых матэрыялах.
| Прадметы | Вытворчасць | Даследаванні | манекен |
| Параметры крышталя | |||
| Палітып | 4H | ||
| Памылка арыентацыі паверхні | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрычныя параметры | |||
| Дапаможнік | Азот п-тыпу | ||
| Удзельнае супраціўленне | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механічныя параметры | |||
| Дыяметр | 150,0±0,2 мм | ||
| Таўшчыня | 350±25 мкм | ||
| Першасная плоская арыентацыя | [1-100]±5° | ||
| Першасная плоская даўжыня | 47,5±1,5 мм | ||
| Другасная кватэра | Няма | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤5 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤10 мкм (5 мм * 5 мм) |
| Лук | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
| Дэфармацыя | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Пярэдняя (Si-грань) шурпатасць (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Структура | |||
| Шчыльнасць мікратрубы | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металічныя прымешкі | ≤5E10атамаў/см2 | NA | |
| БЛД | ≤1500 еа/см2 | ≤3000 еа/см2 | NA |
| ТСД | ≤500 эа/см2 | ≤1000 еа/см2 | NA |
| Пярэдняя якасць | |||
| Фронт | Si | ||
| Аздабленне паверхні | Si-face CMP | ||
| Часціцы | ≤60 шт./вафлю (памер ≥0,3 мкм) | NA | |
| Драпіны | ≤5ea/мм. Сукупная даўжыня ≤дыяметра | Сукупная даўжыня≤2*Дыяметр | NA |
| Апельсінавая скарынка/ямкі/плямы/палосы/ расколіны/забруджвання | Няма | NA | |
| Сколы/водступы/пераломы/шасцігранныя пласціны | Няма | ||
| Политипные вобласці | Няма | Сукупная плошча≤20% | Сукупная плошча≤30% |
| Пярэдняя лазерная разметка | Няма | ||
| Назад Якасць | |||
| Задняя аздабленне | С-гранная CMP | ||
| Драпіны | ≤5ea/мм, Сукупная даўжыня≤2*Дыяметр | NA | |
| Дэфекты спіны (сколы/водступы) | Няма | ||
| Шурпатасць спіны | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Лазерная разметка спіны | 1 мм (ад верхняга краю) | ||
| край | |||
| край | Фаска | ||
| Ўпакоўка | |||
| Ўпакоўка | Epi-ready з вакуумнай упакоўкай Мультывафельная касетная ўпакоўка | ||
| *Заўвагі: "NA" азначае адсутнасць запыту. Элементы, якія не згадваюцца, могуць адносіцца да SEMI-STD. | |||
