Пакрыццё SiCЧастка графітавага паўмесяцаз'яўляецца ключавым кампанентам, які выкарыстоўваецца ў працэсах вытворчасці паўправаднікоў, асабліва для эпітаксіяльнага абсталявання SiC. Мы выкарыстоўваем нашу запатэнтаваную тэхналогію, каб зрабіць дэталь паўмесяца з надзвычай высокай чысцінёй, добрай аднастайнасцю пакрыцця і выдатным тэрмінам службы, а таксама высокай хімічнай устойлівасцю і тэрмічнай стабільнасцю.
