Апісанне
MOCVD Susceptor для эпітаксіяльнага росту ад semicera, вядучае рашэнне, распрацаванае для аптымізацыі працэсу эпітаксіяльнага росту для сучасных паўправадніковых прылажэнняў. MOCVD Susceptor ад Semicera забяспечвае дакладны кантроль над тэмпературай і нанясеннем матэрыялу, што робіць яго ідэальным выбарам для дасягнення высакаякаснай эпітаксіі Si і SiC. Яго трывалая канструкцыя і высокая цеплаправоднасць забяспечваюць стабільную працу ў складаных умовах, забяспечваючы надзейнасць, неабходную для сістэм эпітаксіяльнага росту.
Гэты MOCVD Susceptor сумяшчальны з рознымі прымяненнямі эпітаксіі, уключаючы вытворчасць монакрышталічнага крэмнію і рост GaN на SiC эпітаксіі, што робіць яго важным кампанентам для вытворцаў, якія жадаюць вынікаў найвышэйшага ўзроўню. Акрамя таго, ён бесперашкодна працуе з сістэмамі PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier і RTP Carrier, павышаючы эфектыўнасць працэсу і ўраджайнасць. Токапрымач таксама падыходзіць для прымянення святлодыёдных эпітаксіяльных токапрымачоў і іншых перадавых працэсаў вытворчасці паўправаднікоў.
Дзякуючы сваёй універсальнай канструкцыі, токоприемник MOCVD Semicera можа быць адаптаваны для выкарыстання ў токоприемниках Pancake і Barrel, што забяспечвае гібкасць у розных вытворчых наладах. Інтэграцыя фотаэлектрычных частак яшчэ больш пашырае прымяненне, што робіць яго ідэальным як для паўправадніковай, так і для сонечнай прамысловасці. Гэта высокапрадукцыйнае рашэнне забяспечвае выдатную тэрмічную стабільнасць і даўгавечнасць, забяспечваючы доўгатэрміновую эфектыўнасць працэсаў эпітаксіяльнага росту.
Асноўныя асаблівасці
1 .Графіт з пакрыццём SiC высокай чысціні
2. Выдатная цеплаўстойлівасць і цеплавая аднастайнасць
3. Тонкі крышталь SiC з пакрыццём для гладкай паверхні
4. Высокая трываласць супраць хімічнай ачысткі
Асноўныя характарыстыкі CVD-SIC пакрыццяў:
SiC-CVD | ||
Шчыльнасць | (г/куб.см) | 3.21 |
Трываласць на выгіб | (МПа) | 470 |
Цеплавое пашырэнне | (10-6/K) | 4 |
Цеплаправоднасць | (Вт/мК) | 300 |
Упакоўка і дастаўка
Магчымасць пастаўкі:
10000 штук/штук у месяц
Упакоўка і дастаўка:
Упакоўка: стандартная і моцная ўпакоўка
Поліэтыленавы мяшок + скрынка + кардонная скрынка + паддон
Порт:
Нінбо/Шэньчжэнь/Шанхай
Час выканання:
Колькасць (шт.) | 1 - 1000 | >1000 |
Разлік Час (дні) | 30 | Дамаўляцца |