Керамічнае пакрыццё з карбіду крэмнія

ПолуцветковыеКерамічнае пакрыццё з карбіду крэмніягэта высокаэфектыўнае ахоўнае пакрыццё, вырабленае з надзвычай цвёрдага і зносаўстойлівага карбіду крэмнію (SiC). Пакрыццё звычайна наносіцца на паверхню падкладкі з дапамогай працэсу CVD або PVDчасціцы карбіду крэмнія, забяспечваючы выдатную ўстойлівасць да хімічнай карозіі і высокую тэмпературную стабільнасць. Такім чынам, керамічнае пакрыццё з карбіду крэмнію шырока выкарыстоўваецца ў ключавых кампанентах абсталявання для вытворчасці паўправаднікоў.

У вытворчасці паўправаднікоў,SiC пакрыццёможа вытрымліваць надзвычай высокія тэмпературы да 1600°C, таму керамічнае пакрыццё з карбіду крэмнію часта выкарыстоўваецца ў якасці ахоўнага пласта для абсталявання або інструментаў, каб прадухіліць пашкоджанне пры высокай тэмпературы або агрэсіўных асяроддзях.

У той жа час,керамічнае пакрыццё з карбіду крэмніяможа супрацьстаяць эрозіі кіслот, шчолачаў, аксідаў і іншых хімічных рэагентаў, і мае высокую каразійную ўстойлівасць да розных хімічных рэчываў. Такім чынам, гэты прадукт падыходзіць для розных агрэсіўных асяроддзяў у паўправадніковай прамысловасці.

Акрамя таго, у параўнанні з іншымі керамічнымі матэрыяламі, SiC мае больш высокую цеплаправоднасць і можа эфектыўна праводзіць цяпло. Гэтая асаблівасць вызначае, што ў паўправадніковых працэсах, якія патрабуюць дакладнага рэгулявання тэмпературы, высокая цеплаправоднасцьКерамічнае пакрыццё з карбіду крэмніядапамагае раўнамерна рассейваць цяпло, прадухіляць лакальны перагрэў і забяспечвае працу прылады пры аптымальнай тэмпературы.