Тэрмічны аксідны пласт крэмніевай пласціны - гэта аксідны пласт або пласт кремнезема, утвораны на аголенай паверхні крамянёвай пласціны пры высокай тэмпературы з дапамогай акісляльніка.Пласт тэрмічнага аксіду крамянёвай пласціны звычайна вырошчваецца ў гарызантальнай трубчастай печы, і дыяпазон тэмператур росту звычайна складае 900 °C ~1200 °C, і ёсць два рэжымы росту "мокрае акісленне" і "сухое акісленне".Тэрмічны аксідны пласт - гэта "вырашчаны" аксідны пласт, які мае больш высокую гамагеннасць і больш высокую дыэлектрычную трываласць, чым аксідны пласт, нанесены CVD.Тэрмааксідны пласт з'яўляецца выдатным дыэлектрычным пластом у якасці ізалятара.У многіх прыладах на аснове крэмнія цеплавы аксідны пласт гуляе важную ролю ў якасці легіруючага блакіруючага пласта і павярхоўнага дыэлектрыка.
Парады: Тып акіслення
1. Сухое акісленне
Крэмній рэагуе з кіслародам, і аксідны пласт рухаецца да базальнага пласта.Сухое акісленне неабходна праводзіць пры тэмпературы ад 850 да 1200 ° C, і хуткасць росту нізкая, што можа быць выкарыстана для росту ізаляцыйнага варот MOS.Калі патрабуецца высакаякасны звыштонкі пласт аксіду крэмнію, сухое акісленне аддаецца перавагу перад мокрым.
Ёмістасць сухога акіслення: 15 нм~300 нм (150A ~ 3000A)
2. Мокрае акісленне
У гэтым метадзе выкарыстоўваецца сумесь вадароду і кіслароду высокай чысціні для гарэння пры тэмпературы ~1000 °C, у выніку чаго ўтвараецца вадзяная пара з адукацыяй аксіднага пласта.Хоць мокрае акісленне не можа вырабляць такі ж якасны пласт акіслення, як сухое акісленне, але яго дастаткова для выкарыстання ў якасці ізаляцыйнай зоны, у параўнанні з сухім акісленнем відавочная перавага ў тым, што ён мае больш высокую хуткасць росту.
Мокрая здольнасць акіслення: 50 нм ~ 15 мкм (500A ~ 15 мкм)
3. Сухі спосаб - мокры спосаб - сухі спосаб
У гэтым метадзе чысты сухі кісларод выпускаецца ў акісляльную печ на пачатковай стадыі, вадарод дадаецца ў сярэдзіне акіслення, і вадарод захоўваецца ў канцы, каб працягнуць акісленне чыстым сухім кіслародам з адукацыяй больш шчыльнай акісляльнай структуры, чым распаўсюджаны мокры працэс акіслення ў выглядзе вадзяной пары.
4. Акісленне ТЭОС
| Тэхніка акіслення | Мокрае акісленне або сухое акісленне |
| Дыяметр | 2 ″ / 3 ″ / 4 цалі / 6 цаляў / 8 цаляў / 12 цаляў |
| Таўшчыня аксіду | 100 Å ~ 15 мкм |
| Талерантнасць | +/- 5% |
| Паверхня | Аднабаковае акісленне (SSO) / двухбаковае акісленне (DSO) |
| Печ | Гарызантальная трубчастая печ |
| газ | Вадарод і кісларод |
| тэмпература | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Паказчык праламлення | 1,456 |
