Матэрыял цеплавога поля для вырошчвання крышталяў карбіду крэмнію – кіпры карбід тантала

Кароткае апісанне:

Кіпры карбід тантала ў асноўным выкарыстоўваецца для фільтрацыі кампанентаў газавай фазы, рэгулявання лакальнага тэмпературнага градыенту, напрамку патоку матэрыялу, кантролю ўцечак і г. д. Яго можна выкарыстоўваць з іншым цвёрдым карбідам тантала (кампактным) або пакрыццём з карбіду тантала ад Semicera Technology для фарміравання мясцовых кампанентаў з рознай праводнасцю патоку.

Дашліце нам ліст

Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

Semicera Semicera забяспечвае спецыяльныя пакрыцця з карбіду тантала (TaC) для розных кампанентаў і носьбітаў.Вядучы працэс нанясення пакрыцця Semicera Semicera дазваляе пакрыццям з карбіду тантала (TaC) дасягнуць высокай чысціні, высокай тэмпературнай стабільнасці і высокай хімічнай устойлівасці, паляпшаючы якасць крышталяў SIC/GAN і слаёў EPI (Тас-суцэптар з графітавым пакрыццём), а таксама падаўжэнне тэрміну службы ключавых кампанентаў рэактара.Выкарыстанне пакрыцця з карбіду тантала TaC павінна вырашыць праблему краю і палепшыць якасць росту крышталяў, а Semicera Semicera здзейсніла прарыў у тэхналогіі пакрыцця з карбіду тантала (CVD), дасягнуўшы міжнароднага прасунутага ўзроўню.

Пасля многіх гадоў распрацоўкі Semicera заваявала тэхналогіюCVD TaCсумеснымі намаганнямі навукова-даследчага аддзела.Дэфекты лёгка ўзнікнуць у працэсе росту SiC пласцін, але пасля выкарыстанняTaC, розніца істотная.Ніжэй прыводзіцца параўнанне пласцін з TaC і без яго, а таксама частак Simicera для росту монакрышталяў

Частка Tac для росту монакрышталя

Супрацьізноснае пакрыццё з карбіду тантала_ Абараняе абсталяванне ад зносу і карозіі

Графіт з кольцам з пакрыццём TaC

з TaC і без

Пасля выкарыстання TaC (справа)

Акрамя таго, тэрмін службы вырабаў з TaC-пакрыццяў Semicera больш працяглы і больш устойлівы да высокай тэмпературы, чым у SiC-пакрыцця.Пасля доўгага часу лабараторных вымярэнняў наш TaC можа працаваць на працягу доўгага часу пры максімум 2300 градусах Цэльсія.Вось некаторыя з нашых узораў: