Падкладкі нітрыду галію|пласціны GaN

Кароткае апісанне:

Нітрыд галію (GaN), як і матэрыялы з карбіду крэмнію (SiC), належыць да трэцяга пакалення паўправадніковых матэрыялаў з шырокай шырынёй забароненай зоны, з вялікай шырынёй забароненай зоны, высокай цеплаправоднасцю, высокай хуткасцю міграцыі насычэння электронаў і моцным электрычным полем прабоя. характарыстыкі.Прылады GaN маюць шырокі спектр перспектыў прымянення ў галінах высокай частаты, высокай хуткасці і высокай магутнасці, такіх як святлодыёднае энергазберагальнае асвятленне, лазерны праекцыйны дысплей, новыя энергетычныя транспартныя сродкі, разумная сетка, сувязь 5G.


Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

Вафлі GaN

Паўправадніковыя матэрыялы трэцяга пакалення ў асноўным уключаюць SiC, GaN, алмаз і г.д., таму што іх шырыня забароненай зоны (Eg) большая або роўная 2,3 электронвольта (эВ), таксама вядомыя як шыроказонныя паўправадніковыя матэрыялы. У параўнанні з паўправадніковымі матэрыяламі першага і другога пакаленняў, паўправадніковыя матэрыялы трэцяга пакалення маюць такія перавагі, як высокая цеплаправоднасць, моцнае электрычнае поле прабоя, высокая хуткасць міграцыі насычаных электронаў і высокая энергія сувязі, што можа адпавядаць новым патрабаванням сучасных электронных тэхналогій для высокіх тэмпература, высокая магутнасць, высокі ціск, высокая частата і радыяцыйная ўстойлівасць і іншыя цяжкія ўмовы. Ён мае важныя перспектывы прымянення ў галіне нацыянальнай абароны, авіяцыі, аэракасмічнай прамысловасці, разведкі нафты, аптычнага захоўвання і г.д., і можа паменшыць страты энергіі больш чым на 50% у многіх стратэгічных галінах, такіх як шырокапалосная сувязь, сонечная энергія, вытворчасць аўтамабіляў, паўправадніковае асвятленне і разумная сетка, а таксама можа паменшыць аб'ём абсталявання больш чым на 75%, што мае важнае значэнне для развіцця чалавечай навукі і тэхнікі.

 

Пункт 项目

GaN-FS-CU-C50

GaN-FS-CN-C50

GaN-FS-C-SI-C50

Дыяметр
晶圆直径

50,8 ± 1 мм

Таўшчыня厚度

350 ± 25 мкм

Арыентацыя
晶向

Плоскасць С (0001) адхілена пад вуглом да восі М 0,35 ± 0,15°

Прэм'ер-флэт
主定位边

(1-100) 0 ± 0,5°, 16 ± 1 мм

Secondary Flat
次定位边

(11-20) 0 ± 3°, 8 ± 1 мм

Праводнасць
导电性

N-тып

N-тып

Паўізаляцыйныя

Удзельнае супраціўленне (300K)
电阻率

< 0,1 Ω·см

< 0,05 Ω·см

> 106 Ω·см

TTV
平整度

≤ 15 мкм

ЛАК
弯曲度

≤ 20 мкм

Шурпатасць асабовай паверхні Ga
Ga面粗糙度

<0,2 нм (паліраваны);

або <0,3 нм (паліраваная і апрацаваная для эпітаксіі)

N Шурпатасць асабовай паверхні
N面粗糙度

0,5 ~1,5 мкм

варыянт: 1~3 нм (дробны грунт); <0,2 нм (паліраваны)

Шчыльнасць дыслакацыі
位错密度

Ад 1 х 105 да 3 х 106 см-2 (разлічана па CL)*

Шчыльнасць макрадэфектаў
缺陷密度

< 2 см-2

Карысная плошча
有效面积

> 90% (выключэнне краёвых і макрадэфектаў)

Можа быць настроены ў адпаведнасці з патрабаваннямі заказчыка, розная структура эпітаксіяльнага ліста GaN на аснове крэмнія, сапфіра, SiC.

Semicera Працоўнае месца Працоўнае месца Semicera 2 Абсталяванне машына Апрацоўка CNN, хімічная ачыстка, CVD пакрыццё Наш сэрвіс


  • Папярэдняя:
  • далей: